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知財高裁

知財高判　平成20年2月21日

平成17年(行ケ)第10506号　審決取消請求事件

この判例について AI に質問

裁判所
知的財産高等裁判所
裁判年月日
平成20年2月21日 （2008-02-21）
事件番号
平成17年(行ケ)第10506号
事件名
審決取消請求事件
裁判の種類・結果
判例集等
—
分野
行政・知的財産・特許権・行政訴訟
原本PDF（裁判所）裁判所ウェブサイト

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FIG.1

FIG.2

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FIG.3

2nd Excimer Continuumnm

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Shin-Etsu QUARTZ PRODUCTSShin-Etsu QUARTZPRODUCTS

SUPRASIL F300,310SUPRASIL-F300 SUPRASIL-F3F300

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M-235,M282,M382HERALUX SUPRASIL-F300,F310HERALUX SUPRASIL-FShin-Etsu QUARTZ A JOINT VENTURE WITH HeraeusSUPRASIL-F300,F310F300 F310

00ppm

SUPRASIL-F300,F310SUPRASIL-F310F310

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J,Spectrosc,Soc,Jap,vol.41,21992 81

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Ar Kr Xe KrCl XeCl 126nm146nm 172nm 222nm 308nm 126nm 146nmMgF

Fig. Ar Kr Xe 20XeCl KrCl Fig.Vol.32

No.2

172nm 222nm 308nmnm nm nm

172nm 20W 2W 10222nm

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222nm KrCl

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Fig.3 222nm

308nm nm

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Fig.3

Xe 172nm

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SUPRASIL F310SUPRASIL P20 ESXe

Xe

Xe

3.3

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Shin-Etsu QUARTZ PRODUCTS93LT001

出典：裁判所ウェブサイト「裁判例検索」（https://www.courts.go.jp/hanrei/35787/detail7/index.html）。本文は同サイト掲載の判決書PDFからTaiLexi AIがテキスト化・整形したもの（正確な文言は原本PDFを参照）。判示事項・裁判要旨・参照法条は裁判所の公表どおり。