平成22年6月23日判決言渡
同日原本領収
裁判所書記官
平成18年(ワ)第23550号
職務発明譲渡対価等請求事件
口頭弁論終結日
平成22年3月17日
判決
静岡県菊川市<以下略>
原告
P1
同訴訟代理人弁護士
升永英俊同江口雄一郎同柳沢知樹
東京都千代田区<以下略>
被告
株式会社日立製作所
同訴訟代理人弁護士
城山康文同岩瀬吉和同山本健策同池田孝宏主文
被告は,原告に対し,6302万6136円及び別紙認容金額内訳表の金額欄記載の各金額に対する同認容金額内訳表の起算日欄記載の各日からそれぞれ支払済みまで年5分の割合による金員を支払え。
原告のその余の請求をいずれも棄却する。
訴訟費用は,これを10分し,その9を原告の負担とし,その余を被告の負担とする。
この判決は,第1項に限り,仮に執行することができる。
事実及び理由
第1
請求
被告は,原告に対し,6億円及び別紙請求金額内訳表の金額欄記載の各内金額(ただし,同請求金額内訳表の起算日欄記載の日の早いものから順次6億円に満つるまで。)に対する同請求金額内訳表の起算日欄記載の各日からそれぞれ支払済みまで年5分の割合による金員を支払え。
仮執行宣言
第2
事案の概要
本件は,被告の従業員であった原告が,被告に在職中に行った発明に係る日本国特許6件,アメリカ合衆国(以下「米国」という。)特許17件及び大韓民国(以下「韓国」という。)特許5件についての特許を受ける権利を被告に承継させたことによる相当の対価として,平成16年法律第79号附則2条1項,同法による改正前の特許法35条3項及び4項に基づき,15億8799万5473円の一部である6億円及び別紙請求金額内訳表の金額欄記載の各内金額(ただし,同請求金額内訳表の起算日欄記載の日の早いものから順次6億円に満つるまで。)に対する同請求金額内訳表の起算日欄記載の各日からそれぞれ支払済みまで民法所定の年5分の割合による遅延損害金の支払を求める事案である。
争いのない事実等(争いのない事実以外は証拠等を末尾に記載する。)(1)
当事者等
ア
原告は,昭和52年4月に被告に入社し,平成14年6月に被告を退職した。
イ
被告は,半導体,家電,重電を含む総合電機メーカーである。
ウ
株式会社ルネサステクノロジ(以下「ルネサス」という。)は,被告と三菱電機株式会社(以下「三菱電機」という。)が,それぞれの半導体事業部門につき,共同して新設分割をすることにより,平成15年4月1日に設立された株式会社である(弁論の全趣旨)。
⑵
特許を受ける権利の譲渡
原告は,被告に在籍中,被告の業務範囲に属し,かつ,原告の職務に属する,後記(3)の各特許に係る発明(以下,これを「本件発明」と総称する。)を行い,被告に対し,本件発明に関するすべての権利を譲渡した。(3)
本件各特許等
ア
被告は,本件発明につき,日本,米国及び韓国において,別紙特許目録記載の各特許の出願又は分割出願をし,それぞれ特許を受けた(特許番号及び登録日を除き,甲2ないし4(各枝番を含む。)。以下,同特許目録記載の各特許,各特許に係る特許権及び各特許に係る発明を,それぞれ特許された国及び登録番号の末尾3桁により特定し(例えば,「日本967号特許」,「日本967号特許権」及び「日本967号発明」といい,同様に「米国417号特許」,「韓国796号特許」等という。),これらの各特許,各特許権及び各特許に係る発明を総称して,それぞれ「本件各特許」,「本件各特許権」及び「本件各特許発明」と,日本国特許を総称して「日本各特許」と,米国特許を総称して「米国各特許」と,韓国特許を総称して「韓国各特許」という。)。
イ
日本748号特許,同749号特許,同477号特許,同052号特許及び同468号特許は,いずれも,日本967号特許の出願(特願昭63-295350)から分割出願されたものである。
ウ
米国各特許及び韓国各特許は,いずれも日本967号特許の出願(特願昭63-295350)につき優先権を主張するものである。
エ
米国417号特許は,再発行特許RE35315の登録により,放棄されたものとみなされた。当該再発行特許の期間満了日は,2009年11月16日である。(以上,弁論の全趣旨)
オ
本件各特許権を含む被告の半導体部門が管理する特許権等(一部を除く。)に関する一切の権利義務は,前記(1)ウの新設分割により,被告からルネサスに承継された。しかしながら,被告の従業員であった発明者であって,前記(1)ウの分割期日(平成15年4月1日)より前に退職した者等に対する特許を受ける権利の譲渡対価支払債務は,ルネサスと被告との間の合意により,被告がこれを負担すること,ルネサスは,被告に対し,ルネサスが発明者に対する支払として十分であると認める金額を補償することとされた。これにより,本件発明についての特許を受ける権利の譲渡対価支払債務は,ルネサス設立後においても,被告が負担することとなった。(以上,弁論の全趣旨)
(4)
実績報奨金の支払
被告は,原告に対し,日本967号特許の実績報奨金として,次のとおり,支払った。なお,年度とは,4月1日から翌年3月31日までをいう(以下同じ。)
支払年
実績年度(4月1日~3月31日)
実績報奨金の額
平成14(2002)年
平成12(2000)年
160万円
平成15(2003)年
平成13(2001)年
400万円
平成16(2004)年
平成14(2002)年
420万円
平成17(2005)年
平成15(2003)年
500万円
平成18(2006)年
平成16(2004)年
743万0932円
合計
2223万0932円
(5)
日本各特許発明に係る特許を受ける権利の譲渡は,いずれも平成16年法律第79号の施行(平成17年4月1日)前にされたものであるから,当該譲渡に係る対価については,同法附則2条1項により,同法による改正前の特許法(以下「旧特許法」という。)35条3項及び4項が適用される。また,米国各特許発明及び韓国各特許発明に係る特許を受ける権利の譲渡に係る対価についても,旧特許法35条3項及び4項が類推適用されると解される(最高裁平成16年(受)第781号同18年10月17日第三小法廷判決・民集60巻8号2853頁)。
なお,旧特許法35条3項及び4項の規定は,次のとおりである。第35条
(略)
(略)
従業者等は,契約,勤務規則その他の定により,職務発明について使用者等に特許を受ける権利若しくは特許権を承継させ,又は使用者等のため専用実施権を設定したときは,相当の対価の支払を受ける権利を有する。前項の対価の額は,その発明により使用者等が受けるべき利益の額及びその発明がされるについて使用者等が貢献した程度を考慮して定めなければならない。
争点
(1)
本件発明により被告が受けるべき利益の額
ア
本件各特許発明の技術的範囲
イ
被告が包括クロスライセンス契約において本件各特許により得た利益の額
⑵
本件発明がされるについて被告が貢献した程度
(3)
本件発明の相当の対価の額
(4)
消滅時効の成否
第3
争点についての当事者の主張
争点(1)ア(本件各特許発明の技術的範囲)について
(原告の主張)
(1)
原告の主張の骨子
本件各特許は,ハーフトーン型位相シフトマスクを用いた半導体集積回路の製造方法を含み,光の波長を下回るパターンのウエハ上での形成を可能とする半導体集積回路の製造方法の基本特許である。
⑵
日本967号特許の明細書の記載等
ア
日本967号特許の請求項1の構成要件の分説
日本967号特許の請求項1は,次のとおり,構成要件に分説される(以下,各構成要件を,それぞれ「構成要件A」等という。)。A:マスク基板の一主面上に形成された回路パターンを,集積回路が形成されるべき半導体ウエハ上のフォトレジスト膜に縮小投影露光装置により露光する集積回路装置の製造方法であって,
B:(a)第1光透過領域及びその第1光透過領域と境界を接する第2光透過領域よりなる回路パターンを有する上記マスク基板を上記縮小投影露光装置の所定の部位に配置する工程,
C:(b)上記フォトレジスト膜が形成された上記半導体ウエハを上記縮小投影露光装置の所定の部位に配置する工程,
D:(c)上記所定の部位に配置した上記マスク基板に所定の波長を有する露光光を照射し上記第1光透過領域及び上記第2光透過領域のいずれか一方に設置された位相シフト手段により上記露光光の内,上記第1光透過領域と上記第2光透過領域を透過した光の位相が相互に反転するようにして透過させる工程,
E:(d)上記マスク基板を透過した上記露光光を上記縮小投影露光装置により集光し,上記マスク基板上の回路パターンの実像を上記第1光透過領域の上記第2光透過領域側において上記実像の端部が鮮明になるように上記所定の部位に配置した上記半導体ウエハ上のフォトレジスト膜に投影し,露光する工程よりなること
F:を特徴とする集積回路装置の製造方法。
イ
ポリメチルメタアクリレートを用いた透明膜について
(ア)
日本967号特許の明細書(以下「日本967号明細書」とい
う。)には,「(日本967号発明の位相シフト手段の透明膜は,)ポリメチルメタクリレートなどでも良い」と記載されている(20欄35行~38行)。そして,ポリメチルメタアクリレートは,有機高分子膜であり,露光光の波長によって,透過率が著しく変わるものであって,現在,縮小投影露光装置として広く実用化されている(すなわち,日本967号発明がなされた当時,当業界の専門家の間で検討されていた。)ArFエキシマレーザ露光装置(波長193nm)についていえば,ポリメチルメタアクリレートを用いた透明膜は,光透過率が1%程度になる。これは,ハーフトーン型位相シフト膜の通常の光透過率(5~6%)を下回る。
また,金属膜や完全遮光する遮光領域は,日本967号特許の請求項1の構成要件ではない。
したがって,日本967号特許の請求項1は,ハーフトーン型位相シフトマスクを用いた縮小投影露光法の集積回路製造方法を含むと解される。
(イ)
被告は,ポリメチルメタアクリレートは,透明膜の一例として挙げられていることをもって,これをハーフトーン型位相シフト膜として利用することは開示されていないと主張する。
これは,透過領域は透明膜を用いたものでなければならず,そこにおける透明膜は,光透過率がほぼ100%のものに限られることを前提とするものと解される。
しかしながら,そもそも,日本967号特許の請求項1は,「第1光透過領域」と「第2光透過領域」のいずれについても,その光透過率について何らの制限も加えていないから,その光透過率が何%であっても,位相が反転した光が干渉しあい,端部が鮮明になるという効果を奏するものであれば,日本967号発明の技術的範囲に含まれると合理的に考えられる。
また,透明膜という文言は,日本967号特許の請求項1では用いられておらず,実施例の中の説明文,図面の中で用いられているにすぎない。
したがって,被告の前記主張は,第1に,そもそも透明膜はほぼ100%の光透過率である必要はないという点において,また,第2に,仮に,透明膜とはほぼ100%の光透過率を有するものを意味するとしても,そもそも日本967号特許の請求項1においては,透明膜とは一切記載されていない点で,誤っている。
(ウ)
また,被告は,「新規ArFレジスト用光酸発生剤の設計とその性能」と題する論文(乙25。以下「乙25論文」という。)を根拠に,波長193nmの光を用いたとしても,ポリメチルメタアクリレートの光透過率は,100%に近いと主張する。
しかしながら,乙25論文は,平成13(2001)年発表の論文であるところ,ポリメチルメタアクリレートの光透過率を向上させることは,かなり以前から研究されてきており,その光透過率は10年程度の間に飛躍的に向上してきた。したがって,乙25論文は,この成果を反映させたものであって,日本967号特許の出願時における当業者の認識とは異なる。
他方で,1988年12月6日に出願された米国特許5008156号(甲60。以下「甲60公報」という。)のFig.4によれば,ポリメチルメタアクリレート(膜厚0.85μm(850nm))の光透過率は,波長が250nmから220nmにかけて,10%程度まで急激に低下しており,これを見た当業者は,193nmの波長において,光透過度が100%近くになるとは考えない。また,「有機物の紫外線吸収と分解」(“Ultraviolet laser ablation and decomposition oforganic materials”)と題する論文(甲64。以下「甲64論文」という。)も,波長193~220nmにかけて,ポリメチルメタアクリレートの紫外線の吸収が格段に低下(光透過率が格段に増加)するものではないことを示している。
(長文のため、ここでは本文の冒頭のみを掲載しています。全文はこのページの表示後に読み込まれます。原本は原本PDFをご覧ください。)
出典:裁判所ウェブサイト「裁判例検索」(https://www.courts.go.jp/hanrei/80475/detail7/index.html)。本文は同サイト掲載の判決書PDFからTaiLexi AIがテキスト化・整形したもの(正確な文言は原本PDFを参照)。判示事項・裁判要旨・参照法条は裁判所の公表どおり。