平成２７年１月２８日判決言渡
平成２６年（行ケ）第１０１１４号審決取消請求事件
口頭弁論終結日平成２６年１２月１６日
判決
原告株式会社ニコン
訴訟代理人弁護士大野聖二
同小林英了
訴訟代理人弁理士鈴木守
同加藤真司
同大谷寛
被告特許庁長官
指定代理人伊藤昌哉
同井上茂夫
同内山進
主文
１ 特許庁が不服２０１３－２１０７５号事件について平成２６年３月２５日にした審決を取り消す。
２ 訴訟費用は被告の負担とする。
事実及び理由
第１ 請求
主文と同旨
第２ 事案の概要
１ 特許庁における手続の経緯等（証拠等を摘示しない事実は，当事者間に争いがない。）
原告は，平成１８年５月８日に国際出願した特願２００７－５２８２６９号（特許法４１条に基づく優先権主張日平成１７年５月１２日）について，平成２３年７月４日，その一部を分割する分割出願（特願２０１１－１４８３０１号。以下「本願」という。平成２５年６月１４日付け手続補正後の本願の発明の名称は「投影光学系，露光装置，露光方法，デバイス製造方法，および屈折光学素子」であり，同補正後の請求項の数は３２である。）をしたが（甲１，２，弁論の全趣旨），本願について平成２５年７月２３日付けで拒絶査定を受けたので，同年１０月２９日，これに対する不服の審判を請求するとともに，平成２６年２月１４日，手続補正書を提出した（甲６。これに係る手続補正を，以下「本件補正」という。）。
特許庁は，この審判請求を，不服２０１３－２１０７５号事件として審理した後，同年３月２５日，独立特許要件を欠くとして本件補正を却下した上，「本件審判の請求は，成り立たない。」との審決をし，審決の謄本を，同年４月８日，原告に送達した。
原告は，同年５月７日，審決の取消しを求めて本件訴えを提起した。
２ 特許請求の範囲
本件補正後の本願の特許請求の範囲における請求項１の記載は次のとおりである（甲６。この発明を，以下「補正発明」という。また，以下，本件補正後の本願の明細書を「本願明細書」といい，同明細書の発明の詳細な説明の項を，単に「発明の詳細な説明」という。）。
【請求項１】
第１面のパターンの像を第２面に投影するとともに，液体を介して照明光で基板を露光する液浸露光装置に搭載される投影光学系において，
前記照明光が通過する第１レンズ群と，
前記第１レンズ群からの前記照明光を反射する複数の反射ミラーと，前記反射ミラーからの前記照明光が通過するとともに，最終レンズを有する第２レンズ群と，を備え，
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群とは，前記投影光学系の光軸上に配置され，
前記第２面に投影される前記パターンの像の投影領域の中心は，前記光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れており，
前記最終レンズは，前記液体と接する面であって前記照明光が通過する射出領域を一部に含む射出面と，当該最終レンズの射出側の一部に，前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し，
前記第１方向の幅に基づいて規定される，前記突出部の中心は，前記第１方向に関して前記光軸から離れており，前記光軸に対して前記投影領域の中心と同じ側にあることを特徴とする投影光学系。
３ 審決の理由
別紙審決書写しのとおりである。要するに，補正発明は，特許法３６条６項１号に規定する要件を満たさないから，特許出願の際独立して特許を受けることができず，本件補正は，平成１８年法律第５５号による改正前の特許法１７条の２第５項において準用する同法１２６条５項の規定に違反するので，同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものであり，本件補正前の本願の特許請求の範囲の請求項１の発明についても，特許法３６条６項１号に規定する要件を満たしていないから特許を受けることができず，したがって，本願は拒絶すべきであるというものである。
第３ 原告の主張
補正発明が特許法３６条６項１号に規定する要件を満たさないとの審決の判断は，以下のとおり誤っており，本件補正は却下されるべきものではないから，審決には結論に影響する判断の誤りがあり，審決は取り消されるべきである。
１ 審決による補正発明の特定の誤り
審決は，補正発明における「当該最終レンズの射出側の一部に，前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し」という事項を「特定事項」とした上，「上記特定事項を含む補正発明は本願の発明の詳細な説明に記載された事項を超えた事項を含むといわざるを得ない。」と判断した。しかるに，審決がいう特定事項は，突出部に関する要件であるが，補正発明において，突出部は，「前記第１方向の幅に基づいて規定される，前記突出部の中心は，前記第１方向に関して前記光軸から離れており，前記光軸に対して前記投影領域の中心と同じ側にある」（下線を付した部分は，原告が本件補正により追加した。）という要件によっても限定されている。
したがって，この特定事項を含む補正発明が，発明の詳細な説明に記載された事項の範囲内であるかどうかを判断すべきであるにもかかわらず，審決は，原告が補正によって追加した要件を看過して，突出部の構成要件の一部のみを取り出して特定事項とし，当該特定事項を含む補正発明が発明の詳細な説明に記載された事項の範囲内であるかについて，上記のとおり判断しており，失当である。
２ 補正発明が発明の詳細な説明に記載された事項の範囲内にあること従来から，投影光学系の像空間において液体（浸液）が介在する範囲をできるだけ小さく抑えることが，基板ステージ（ウェハステージ）の巨大化の回避やアライメント光学系の精度の向上などに有利であることが知られており，屈折型の投影光学系の場合（投影領域の中心と光軸とが一致している場合）には，射出面の領域は，光軸を中心として有効射出領域を包含するために必要な最小限の大きさとされていた。これに対し，反射屈折型の投影光学系の場合（投影領域の中心が光軸から偏心している場合）において，射出面を，光軸を中心として有効射出領域を包含するために必要な最小限の大きさに形成すると，従来技術（すなわち，屈折型の投影光学系の場合）に比べて射出面が大きくなってしまうという課題があった。
本願に係る発明の目的は，本願明細書に「本発明は，前述の課題に鑑みてなされたものであり，たとえば反射屈折型で且つ軸外視野型であって，像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑えることのできる液浸型の投影光学系を提供することを目的とする。」（【０００８】）とあるとおり，上記の課題を解決することにある。
そして，本願に係る発明の課題を解決するための構成と発明の効果については，本願明細書に，「本発明の典型的な形態にしたがう液浸型の投影光学系は，たとえば反射屈折型で且つ軸外視野型であって，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が，像面上の有効投影領域の形状に応じて，光軸に関して回転非対称な形状を有する。具体的には，当該屈折光学素子の射出面は，たとえば像面上において直交する２つの軸線方向に関してほぼ対称な形状を有し，射出面の中心軸線と屈折光学素子の入射面の外周に対応する円の中心軸線とはほぼ一致し，射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心している。」（【００２２】）「その結果，本発明の投影光学系では，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が有効投影領域の形状に応じて回転非対称な形状に形成されているので，像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑えることができる。」（【００２３】）とあり，これらの記載と，反射屈折型の投影光学系において本願に係る発明の課題が出てきたという従来技術の流れから，本願に係る発明が，射出面の中心を投影領域の中心と同じ側に偏心させたことによって，課題を解決するものであることは明らかである。
補正発明における突出部の構成は，上記のとおり本願明細書の発明の詳細な説明に記載された課題を解決するための構成を記載したものである。したがって，補正発明は，発明の詳細な説明に記載された発明であり，発明の詳細な説明に開示された内容を拡張ないし一般化したものではない。被告は，発明の詳細な説明には，「射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心」することのみにより，発明の課題を解決し射出面の大きさを小さくできることまでは記載されていないと主張する。
しかしながら，射出面の大きさは，「液体（浸液）が介在する範囲をできるだけ小さく抑えることが，基板ステージ（ウェハステージ）の巨大化の回避やアライメント光学系の精度の向上などに有利である」という技術常識から自ずと小さくするものであり，従来技術においても，適切な大きさが定められていたのであるから，被告の上記主張は失当である。
また，被告は，発明の詳細な説明に記載された実施形態のうち第１変形例を根拠に，突出部の中心と投影光学系の光軸とが離れていることは，発明の課題を解決するための手段という観点からみれば任意の事項であると主張する。
しかしながら，補正発明は，第１変形例に対応する構成について権利を請求するものではないから，被告の上記主張は失当である。
３ 審決による課題解決手段の認定の誤り
審決は，本願に係る発明の解決手段について，「射出面を形成する突出部を「実効露光領域ＥＲ（投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じた」「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」という解決手段で解決しているというべきである。」と認定した。
審決は，実効露光領域ＥＲが矩形状の照明領域であるから，射出面も「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」と理解しているようであるが，誤りである。実効露光領域ＥＲが矩形状であるからといって，射出面の形状も矩形状であるということにはならない。そもそも，実効露光領域ＥＲは，従来から矩形状であったのであり，実効露光領域ＥＲの形状が矩形状であることは，本願に係る発明が問題としている課題とは直接的な関係はない。
審決は，光軸ＡＸに対して回転非対称なことを，「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」と誤解している可能性もあるが，両者は異なる概念である。光軸ＡＸに対して回転対称な形状の射出面を想定すると，当該射出面の中心を光軸ＡＸから偏心させると，射出面は光軸ＡＸに対して回転非対称となるが，「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」ようにしても必ずしも回転非対称にはならない。例えば，長方形や楕円形を考えれば分かるように，２つの軸線方向での長さが異なっても，回転対称の場合がある。
審決は，補正発明に係る射出面を形成する突出部には，例えば「実効露光領域ＥＲの形状とは全く関係ない任意の形状」としたものや「互いに直交する２つの軸線方向での射出面Ｌｐｂの長さが本願の発明の詳細な発明に記載の実施例とは逆の方向に異なる」もの，さらには「互いに直交する２つの軸線方向での射出面Ｌｐｂの長さが同じ」である従来技術など，様々な態様のものが含まれるとする。
しかしながら，突出部がいかなる形状であったとしても，突出部を投影領域の中心と同じ側に偏心させなければ，射出面の大きさを従来技術に比べて小さくできないのであるから，審決の上記の判断は的外れである。
第４ 被告の主張
１ 補正発明の特定について
原告は，審決には補正発明の突出部の配置に関する構成を看過して判断した誤りがあると主張する。
この点，補正発明において，「突出部」は，「当該最終レンズの射出側の一部に，前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し」という，形状に関する構成（以下「要件１」という。）と，「前記第１方向の幅に基づいて規定される，前記突出部の中心は，前記第１方向に関して前記光軸から離れており，前記光軸に対して前記投影領域の中心と同じ側にある」という，配置に関する構成（以下「要件２」という。）によって特定されている。そして，審決は，発明の課題及び発明の課題を解決するための手段は「突出部」の形状に関するものであり，配置に関する構成である要件２とは明らかに異なるものであるため，まず，補正発明の形状に関する構成である要件１について，審決で認定した課題を解決することができるか検討した上で，要件２の配置に関する構成も含めた補正発明について，審決で認定した「実効露光領域ＥＲ（投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じた」「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」という解決手段が請求項に反映されていないことを確認している。よって，補正発明の要件２を看過して判断したという原告の主張は失当である。
仮に，要件２を看過して判断しているように見えたとしても，審決が認定した，請求項に反映されるべき解決手段が，補正発明に反映されていないことには変わりはなく，審決が要件２について明示しなかったことは，その結論に影響を及ぼさない。
２ 補正発明には，発明の詳細な説明に記載された発明の課題を解決するための手段が反映されていないこと
本願に係る発明が解決しようとする課題は，反射屈折型で且つ軸外視野型であって，液浸型の投影光学系において，屈折光学素子の射出面を光軸に関して回転対称な形状に形成すると，像空間において液体が介在する範囲が大きくなるということであるが，ここに「光軸に関して回転対称な形状」とは，本願明細書（【００６５】）によれば，「互いに直交する２つの軸線方向に関してほぼ同じ長さを有する形状」のことである。
この発明の課題に対して，補正発明は，射出面（突出部）の形状について特定しておらず，この補正発明により，発明の課題を解決することができるとは直ちにはいうことができない。そこで，発明の詳細な説明の記載（【０００９】，【００２２】，【００２３】）を参酌すると，発明の課題を解決するための手段は，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が，「有効投影領域（実効露光領域ＥＲ）の形状に応じて，光軸に関して回転非対称な形状に形成されている」構成であるといえる。
しかし，この構成のうち，「有効投影領域（実効露光領域ＥＲ）の形状」については，矩形状であるのが一般的であり直ちに理解することができるが，「（光軸に関して）回転非対称な形状」については「無限回回転対称な形状以外の形状」（【０００９】），すなわち，幾何学的に考えると「円」以外であることしかわからず，どのような形状のものか特定できない。そのため，本願明細書及び図面に記載された，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面の形状に係る４つの実施形態全てについての記載を参照すると，いずれの実施形態についても，「液中平行平面板Ｌｐの射出面ＬｐｂがウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）ので，投影光学系ＰＬの像空間において液体（浸液）Ｌｍ１が介在する範囲を小さく抑えることができる。」と記載されている（【００６９】，【００７３】，【００７７】，【００８１】）。また，実効露光領域ＥＲの形状は矩形状の照明領域であり（【００２８】，【００２９】），射出面を通過した光がウェハ上にそのような実効露光領域ＥＲを形成できる，射出面の形状であることが必要であることが明らかである。
そうすると，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が「実効露光領域ＥＲの形状に応じて，光軸に関して回転非対称な形状に形成されている」構成とは，射出面が実効露光領域ＥＲの形状に応じて，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている構成を示すことと理解できるから，発明の詳細な説明に記載された課題を解決するための手段は，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が，実効露光領域ＥＲの形状に応じて，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている構成であるといえる。
しかるに，補正発明の「突出部」に係る記載には，上記のとおりの発明の課題を解決するための手段が反映されていない。
すなわち，補正発明の「突出部」の構成は，「実効露光領域ＥＲの形状に応じて，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」構成以外の「突出部」の構成を含んでおり，このような補正発明は，発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することになるものといえる。
すなわち，補正発明においては，突出部の大きさは特定されていないが，補正発明における突出部の構成によれば，射出面が大きさを変えずに，偏心した距離だけスライドした形態も含み得るものであり，射出面の中心を偏心させるだけで，実効露光領域ＥＲ（有効投影領域）に接する程度まで射出面が小さくなるものではない。
他方，発明の詳細な説明には，突出部を投影領域の中心と同じ側に偏心させることのみにより，発明の課題を解決することができ，射出面の大きさを従来技術と比べて小さくできるという効果が得られるという技術事項は記載されていない。
すなわち，本願明細書の【００２２】には，「射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心している」ことが記載されているが，このことのみにより，発明の課題を解決し射出面の大きさを小さくできることまでは記載されておらず，この位置関係に係る記載があったからといって，補正発明に，本願の発明の課題を解決するための手段が反映されているとはいえない。
また，発明の詳細な説明に記載された前記４つの実施形態のうち第１変形例では，突出部の中心と投影光学系の光軸とが一致していることを勘案すると，補正発明で特定された，突出部の中心と投影光学系の光軸とが離れていることは，発明の詳細な説明から把握できる発明の課題を解決するための手段という観点からみれば，任意の事項であるということができる。よって，補正発明には，発明の詳細な説明に記載された発明の課題を解決するための手段が反映されていないから，発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することとなるとした審決の判断に誤りはない。
３ 本願に係る発明の解決手段の認定について
原告は，実効露光領域ＥＲが矩形状であるからといって，射出面の形状も矩形状であるということにはならないと主張する。
確かに，審決では，「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」という解決手段について，実効露光領域ＥＲが矩形状の照明領域であることから説明している。しかるに，ウェハ上に形成される実効露光領域ＥＲが矩形状であれば，それに面した最終レンズの射出面（突出部）を通過する照明光も，実効露光領域ＥＲの上記形状に対応した矩形状の範囲内のものであることは明らかであることや，本願明細書に「実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）」と記載されていることからすれば，上記のような審決の説明に誤りはない。
原告は，光軸ＡＸに対して回転非対称なことと，「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」こととは異なる概念であると主張する。
しかし，「回転非対称な形状」が「無限回回転対称な形状以外の形状」を指すとの本願明細書の定義によれば，「２つの軸線方向での長さが異なる形状」は，光軸に対して「回転非対称な形状」に該当する。
そして，審決では，実効露光領域ＥＲが矩形状であることを踏まえ，「実効露光領域ＥＲ（投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている」という事項が，「実効露光領域ＥＲ（投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じた」「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」という解決手段に相当すると認定したのであり，単に「光軸ＡＸに対して回転非対称なこと」と「互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている」こととが同義であると認定したわけではないから，原告の上記主張は失当である。原告は，突出部がいかなる形状であったとしても，突出部を投影領域の中心と同じ側に偏心させなければ，射出面の大きさを従来技術に比べて小さくすることはできないと主張する。
しかしながら，単に射出面の中心を投影領域の中心と同じ側に偏心させたとしても，射出面の形状が投影領域の形状に応じたものでなければ，投影領域以外の余分な領域を射出面に含まざるを得ないのであり，突出部を投影領域の中心と同じ側に偏心させることのみで，射出面を従来技術より小さくすることができるとする原告の主張は失当である。
第５ 当裁判所の判断
当裁判所は，審決には，補正発明が発明の詳細な説明に記載された発明ではない発明を含むと判断した点に誤りがあり，この誤りは，審決の結論に影響を及ぼすものであるから，審決は取消しを免れないと判断する。
その理由は，次のとおりである。
１ 補正発明における「突出部」に係る構成の内容について
審決は，「当該最終レンズの射出側の一部に，前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し」との特定事項を含む補正発明は，発明の詳細な説明に記載された事項を超えた事項を含むと判断した。
これに対し，原告は，審決が突出部に関する要件の一部を看過したと主張する（前記第３の１）。そこで，当該突出部の構成要件の内容について，以下，検討する。
補正発明は，「前記最終レンズは，前記液体と接する面であって前記照明光が通過する射出領域を一部に含む射出面と，当該最終レンズの射出側の一部に，前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し，前記第１方向の幅に基づいて規定される，前記突出部の中心は，前記第１方向に関して前記光軸から離れており，前記光軸に対して前記投影領域の中心と同じ側にある」との構成要件（以下「突出部の構成要件」という。）を備えている。
ここで，「最終レンズ」に形成される「前記突出部の中心は，前記第１方向に関して前記光軸から離れており，前記光軸に対して前記投影領域の中心と同じ側にある」から，その突出部（射出面）は，その形状がどのようなものであれ，光軸から第１方向に関して投影領域の中心と同じ側に離れた位置に中心を有する。さらに，「第１方向」とは，「投影領域の中心は，前記光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れて」いるという補正発明の構成要件における「第１方向」であり，投影領域の中心が光軸から離れる方向のことである。したがって，光軸から第１方向に関して投影領域の中心と同じ側に離れた位置とは，要するに，光軸から投影領域の中心に向かって離れた位置のことである。
そうすると，突出部の構成要件は，全体として，最終レンズの突出部（射出面）が，それ自体の形状を問わず，光軸から投影領域の中心に向かって離れた位置に中心を有するという一つの事項を特定するものであるということができる。
補正発明が発明の詳細な説明に記載された発明であるか否かを判断するに当たっては，突出部の構成要件が全体として特定する上記の一つの事項が発明の詳細な説明に記載されているかどうかを検討すべきである。
これに対して，審決は，前記のとおり，突出部の構成要件の一部のみ取り出して特定事項とし，当該特定事項を含む補正発明が発明の詳細な説明に記載された事項の範囲内にあるかを検討している。したがって，その判断手法には誤りがあるといわざるを得ない。
被告は，補正発明における「突出部」は，形状に関する構成（要件１）と配置に関する構成（要件２）とで特定されており，審決は，発明の課題及び発明の課題を解決するための手段は「突出部」の形状に関するものであるため，まず，補正発明の形状に関する構成である要件１について，課題を解決することができるか検討したと主張する（前記第４の１）。
しかしながら，突出部の構成要件は，全体として一つの事項を特定するものであるから，課題を解決することができるか否かについても，突出部の構成要件全体で考えるべきであり，これを形状に関する構成と配置に関する構成に分け，前者について課題を解決することができるかどうかを検討するのは適切ではない。
なお，被告は，審決は要件２の配置に関する構成も含めた補正発明について，課題解決手段が請求項に反映されていないことを確認しているとも主張するが（同上），審決にその旨の記載があるとは認められない。
よって，被告の上記主張は採用することができない。
２ 発明の詳細な説明の記載内容
前記１の突出部の構成要件の認定を踏まえ，発明の詳細な説明の内容を検討すべきところ，本願明細書（甲１及び２）には，発明の詳細な説明として，次の記載がある。
「【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
…露光装置用の投影光学系の解像力を向上させる手法として，気体よりも屈折率の高い液体などの媒質で像空間を埋めることにより１を超えるような大きな像側開口数を確保する技術が知られている。一方，マイクロリソグラフィーにおいてチップコストを無視した微細パターン形成は成り立たず，現在最も有力な液浸リソグラフィシステムとして，投影光学系の像空間の限定された部分にのみ液体を供給排出する機構を設けた，いわゆる局所液浸システムが主流である。この場合，投影光学系の像空間において液体（浸液）が介在する範囲をできるだけ小さく抑えることが，基板ステージ（ウェハステージ）の巨大化の回避やアライメント光学系の精度の向上などに有利である。
【０００７】
また，像側開口数が例えば１．２を超えるような液浸投影光学系では，ペッツバール条件を成立させて像の平坦性を得るという観点から反射屈折光学系の採用が望ましく，あらゆるパターンへの対応力の観点から有効視野領域および有効投影領域が光軸を含まない軸外視野光学系の採用が望ましい。反射屈折型で軸外視野型の液浸投影光学系を採用する場合，従来の屈折型の投影光学系よりも最大像高が大きくなる。その結果，投影光学系中の最も像側に配置される屈折光学素子の射出面を従来技術にしたがって光軸に関して回転対称な形状に形成すると，投影光学系の像空間において液体が介在する範囲が大きくなり，ひいては基板ステージの巨大化やアライメント光学系の精度低下などを招いてしまう。
【０００８】
本発明は，前述の課題に鑑みてなされたものであり，たとえば反射屈折型で且つ軸外視野型であって，像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑えることのできる液浸型の投影光学系を提供することを目的とする。また，本発明は，像空間において液体が介在する範囲を小さく抑えることのできる高解像な液浸投影光学系を用いて，基板ステージの巨大化やアライメント光学系の精度低下などを招くことなく，微細なパターンを高精度に投影露光することのできる露光装置および露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために，本発明の第１形態では，第１面のパターンの像を第２面に投影するとともに，液体を介して照明光で基板を露光する液浸露光装置に搭載される投影光学系において，
前記照明光が通過する第１レンズ群と，
前記第１レンズ群からの前記照明光を反射する複数の反射ミラーと，前記反射ミラーからの前記照明光が通過するとともに，最終レンズを有する第２レンズ群と，を備え，
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群とは，前記投影光学系の光軸上に配置され，
前記第２面に投影される前記パターンの像の投影領域の中心は，前記光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れており，
前記最終レンズは，前記液体と接する面であって前記照明光が通過する射出領域を一部に含む射出面と，当該最終レンズの射出側の一部に，前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し，
前記第１方向の幅に基づいて規定される，前記突出部の中心は，前記第１方向に関して前記光軸から離れていることを特徴とする投影光学系を提供する。なお，本明細書中に記載された「回転非対称な形状」とは，「無限回回転対称な形状以外の形状」を指す。」
「【発明の効果】
【００２２】
本発明の典型的な形態にしたがう液浸型の投影光学系は，たとえば反射屈折型で且つ軸外視野型であって，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が，像面上の有効投影領域の形状に応じて，光軸に関して回転非対称な形状を有する。具体的には，当該屈折光学素子の射出面は，たとえば像面上において直交する２つの軸線方向に関してほぼ対称な形状を有し，射出面の中心軸線と屈折光学素子の入射面の外周に対応する円の中心軸線とはほぼ一致し，射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心している。
【００２３】
その結果，本発明の投影光学系では，最も像面側に配置された屈折光学素子の射出面が有効投影領域の形状に応じて回転非対称な形状に形成されているので，像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑えることができる。また，本発明の露光装置および露光方法では，像空間において液体が介在する範囲を小さく抑えることのできる高解像な液浸投影光学系を用いているので，基板ステージの巨大化やアライメント光学系の精度低下などを招くことなく，微細なパターンを高精度に投影露光することができ，ひいては良好なマイクロデバイスを高精度に製造することができる。」
「【発明を実施するための形態】
【００２５】
…」
「【００２８】
図２（判決注・次頁右上のとおり）は，本実施形態においてウェハ上に形成される矩形状の静止露光領域（すなわち実効露光領域）と基準光軸との位置関【図２】係を示す図である。本実施形態では，図２
に示すように，基準光軸ＡＸを中心とした
半径Ｂを有する円形状の領域（イメージサ
ークル）ＩＦ内において，基準光軸ＡＸか
らＹ方向に軸外し量Ａだけ離れた位置に所
望の大きさを有する矩形状の実効露光領域
ＥＲが設定されている。
【００２９】
ここで，実効露光領域ＥＲのＸ方向の長
さはＬＸであり，そのＹ方向の長さはＬＹ
である。したがって，図示を省略したが，レチクルＲ上では，矩形状の実効露光領域ＥＲに対応して，基準光軸ＡＸからＹ方向に軸外し量Ａに対応する距離だけ離れた位置に実効露光領域ＥＲに対応した大きさおよび形状を有する矩形状の照明領域（すなわち実効照明領域）が形成されていることになる。」「【００３７】
図３（判決注・右のとおり）は，本実
施形態の各実施例における境界レンズと
ウェハとの間の構成を模式的に示す図で
ある。図３を参照すると，本実施形態の
各実施例にかかる投影光学系ＰＬでは，
レチクルＲ側（物体側）の面が第２液体
Ｌｍ２に接し且つウェハＷ側（像側）の面が第１液体Ｌｍ１に接する液中平行平面板Ｌｐが最もウェハ側に配置されている。そして，この液中平行平面板Ｌｐに隣接して，レチクルＲ側の面が気体に接し且つウェハＷ側の面が第２液体Ｌｍ２に接する境界レンズＬｂが配置されている。」
「【００６３】
【図３】
【図８】
本実施形態の液浸投影光学系ＰＬでは，反射屈折型の光学系を採用しているので，大きな像側開口数にもかかわらずペッツバール条件をほぼ成立させて像の平坦性を得ることができるとともに，有効視野領域（実効照明領域）および有効投影領域（実効露光領域ＥＲ）が光軸を含まない軸外視野型の光学系を採用してレンズ開口（瞳）中の遮光部を有しないようにしているため，あらゆるパターンへの対応力を確保することができる。しかしながら，本実施形態のような反射屈折型で軸外視野型の液浸投影光学系ＰＬでは，最も像側（ウェハＷ側）に配置される屈折光学素子としての液中平行平面板Ｌｐの射出面を従来技術にしたがって光軸ＡＸ３（すなわち基準光軸ＡＸ）に関して回転対称な形状に形成すると不都合が発生する。
【００６４】
図８（判決注・右のとおり）は，最も
像側に配置される屈折光学素子の射出面
を従来技術にしたがって回転対称な形状
に形成したときの不都合を具体的に説明
するための図である。図８を参照すると，
液浸投影光学系ＰＬ中において最も像側
（ウェハＷ側）に配置される屈折光学素
子としての液中平行平面板Ｌｐの入射面
は，光軸ＡＸを中心とした円３０に対応
する外周を有する。言い換えると，液中
平行平面板Ｌｐの入射面は，互いに直交
する２つの軸線方向に関してほぼ同じ長さを有する。実際には，液中平行平面板Ｌｐの入射面の外周の一部にオリエンテーションフラット等の切欠が設けられたり，入射面の外周が多角形状に形成されたり，入射面と面一にホールド用のタブが設けられたりすることがあるが，いずれにしても液中平行平面板Ｌｐ【図９】
の入射面の外周に対応する円３０の中心軸線は光軸ＡＸと一致している。【００６５】
一方，液中平行平面板Ｌｐの射出面を有効な結像光束が通過する領域として定義される有効射出領域３１は，ウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない矩形状の実効露光領域（静止露光領域）ＥＲに対応するように，光軸ＡＸから一方向（Ｙ方向）に偏心し且つ長方形の隅角部が丸まったような形状を有する。従来技術では，液中平行平面板Ｌｐの射出面が有効射出領域３１の回転非対称性とは無関係に光軸ＡＸに関して回転対称な形状（無限回回転対称な形状），言い換えると互いに直交する２つの軸線方向に関してほぼ同じ長さを有する形状に形成されるので，液中平行平面板Ｌｐの射出面は光軸ＡＸを中心として有効射出領域３１を内包するような大きな円３２に対応する外周を有することになる。その結果，従来技術では，投影光学系ＰＬの像空間において液体Ｌｍ１が介在する範囲が大きくなり，ひいては基板ステージ（９～１１）の巨大化やアライメント光学系（不図示）の精度低下などを招く。
【００６６】
図９（判決注・右のとおり）は，
本実施形態の各実施例における液
中平行平面板の構成を概略的に示
す図である。図９において，
（ａ）は液中平行平面板Ｌｐの底
面図であり，（ｂ）および（ｃ）
は液中平行平面板Ｌｐの側面図で
ある。図９を参照すると，本実施
形態の各実施例において液中平行
平面板Ｌｐの入射面Ｌｐａは円４
０に対応する外周を有し，この入
射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心４０ａは光軸ＡＸ（ＡＸ３）からＹ方向に偏心している。ちなみに，破線４１で示す参照円は，光軸ＡＸを中心として円４０に内接する円である。言い換えると，液中平行平面板Ｌｐの入射面Ｌｐａは，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）に関してほぼ同じ長さを持つように形成されている。
【００６７】
液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂにおける有効射出領域４２は，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称で且つ長方形の隅角部が丸まったような形状を有し，有効射出領域４２の中心４２ａは入射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心４０ａと一致している。液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，有効射出領域４２の周囲に僅かなマージン領域を確保して有効射出領域４２を内包するようなＸ方向およびＹ方向に関してほぼ対称な形状を有し，射出面Ｌｐｂの中心Ｌｐｂａは有効射出領域４２の中心４２ａおよび入射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心４０ａと一致している。別の観点でみると，液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して１回回転対称な形状を有する。なお，図９（ａ）において射出面Ｌｐｂを包囲する領域であってハッチングの施された部分Ｌｐｃは，射出面Ｌｐｂの外周から光入射側に延びる傾斜面である。【００６８】
すなわち，本実施形態の各実施例において，液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，ウェハＷ上において直交する２つの軸線方向すなわちＸ方向およびＹ方向に関してほぼ対称な形状を有する。また，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａと入射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心軸線４０ａとは一致し，射出面Ｌｐｂの中心軸線ＬｐｂａはＹ方向に沿って光軸ＡＸから偏心している。そして，ウェハＷ上の実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａとほぼ一致している。言い換えると，射出面Ｌｐｂの一方の軸線方向（Ｙ方向）について【図１０】
の長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なっている。【００６９】
以上のように，本実施形態では，液中平行平面板Ｌｐの射出面が有効射出領域４２の光軸ＡＸに関する回転非対称性とは無関係に光軸ＡＸに関して回転対称な形状に形成される従来技術とは異なり，液中平行平面板Ｌｐの射出面ＬｐｂがウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）ので，投影光学系ＰＬの像空間において液体（浸液）Ｌｍ１が介在する範囲を小さく抑えることができる。本実施形態の露光装置では，像空間において液体Ｌｍ１が介在する範囲を小さく抑えることのできる高解像な液浸投影光学系ＰＬを用いているので，基板ステージ（９～１１）の巨大化やアライメント光学系の精度低下などを招くことなく，微細なパターンを高精度に投影露光することができる。
【００７０】
図１０（判決注・右のとおり）は，
本実施形態の第１変形例にかかる液
中平行平面板の構成を概略的に示す
図である。図１０において，（ａ）
は液中平行平面板Ｌｐの底面図であ
り，（ｂ）および（ｃ）は液中平行
平面板Ｌｐの側面図である。図１０
を参照すると，第１変形例にかかる
液中平行平面板Ｌｐの入射面Ｌｐａ
は，光軸ＡＸ（ＡＸ３）を中心とし
た円５０に対応する外周を有する。
言い換えると，液中平行平面板Ｌｐの入射面Ｌｐａは，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）に関してほぼ同じ長さを持つように形成されている。液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂにおける有効射出領域５１は，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称で且つ長方形の隅角部が丸まったような形状を有し，有効射出領域５１の中心５１ａは光軸ＡＸからＹ方向に偏心している。【００７１】
液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，有効射出領域５１の一方の長辺側および両方の短辺側に僅かなマージン領域を確保しつつ他方の長辺側に比較的大きなマージン領域を確保して有効射出領域５１を内包し，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称な形状を有する。図１０（ａ）において射出面Ｌｐｂを包囲する領域であってハッチングの施された部分Ｌｐｃは，射出面Ｌｐｂの外周から光入射側に延びる傾斜面である。
【００７２】
すなわち，第１変形例にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称な形状を有する。別の観点でみると，第１変形例にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して２回回転対称な形状を有する。また，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａ（図１０では不図示）と入射面Ｌｐａの外周に対応する円５０の中心軸線５０ａ（図１０では不図示）と光軸ＡＸとは一致している。そして，ウェハＷ上の実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａ（すなわち光軸ＡＸ）からＹ方向に偏心している。言い換えると，射出面Ｌｐｂの一方の軸線方向（Ｙ方向）についての長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なっている。【００７３】
図１０の第１変形例においても図９の実施形態と同様に，液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂが，ウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない実効露光領域Ｅ【図１１】
Ｒ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて，光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）ので，投影光学系ＰＬの像空間において液体（浸液）Ｌｍ１が介在する範囲を小さく抑えることができる。
【００７４】
図１１（判決注・右のとおり）
は，本実施形態の第２変形例にか
かる液中平行平面板の構成を概略
的に示す図である。図１１におい
て，（ａ）は液中平行平面板Ｌｐ
の底面図であり，（ｂ）および
（ｃ）は液中平行平面板Ｌｐの側
面図である。図１１を参照すると，
第２変形例にかかる液中平行平面
板Ｌｐの入射面Ｌｐａは，光軸Ａ
Ｘ（ＡＸ３）を中心とした円６０
に対応する外周を有する。液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂにおける有効射出領域６１は，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称で且つ長方形の隅角部が丸まったような形状を有し，有効射出領域６１の中心６１ａは光軸ＡＸからＹ方向に偏心している。言い換えると，射出面Ｌｐｂの一方の軸線方向（Ｙ方向）についての長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なっている。
【００７５】
液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，有効射出領域６１の周囲に僅かなマージン領域を確保して有効射出領域６１を内包するようなＹ方向に関してほぼ対称でＸ方向に関して非対称な形状を有し，射出面Ｌｐｂの中心（重心）Ｌｐｂａ（図１１では不図示）は有効射出領域６１の中心６１ａの近傍（Ｙ方向に沿った近傍）に位置している。図１１（ａ）において射出面Ｌｐｂを包囲する領域であってハッチングの施された部分Ｌｐｃは，射出面Ｌｐｂの外周から光入射側に延びる傾斜面である。
【００７６】
すなわち，第２変形例にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，Ｙ方向に関してほぼ対称で且つＸ方向に関して非対称な形状を有する。言い換えると，射出面Ｌｐｂは，一方の軸線方向（Ｙ方向）についての長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なるように形成されている。また，入射面Ｌｐａの外周に対応する円６０の中心軸線６０ａ（図１１では不図示）と光軸ＡＸとは一致し，射出面Ｌｐｂの中心軸線（重心軸線）ＬｐｂａはＹ方向に沿って光軸ＡＸから偏心している。そして，ウェハＷ上の実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線（重心軸線）Ｌｐｂａとほぼ一致している。別の観点でみると，第２変形例にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して１回回転対称な形状を有する。
【００７７】
図１１の第２変形例においても図９の実施形態と同様に，液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂが，ウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて，光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）ので，投影光学系ＰＬの像空間において液体（浸液）Ｌｍ１が介在する範囲を小さく抑えることができる。
【００７８】
【図１２】図１２（判決注・右のとおり）
は，本実施形態の第３変形例にか
かる液中平行平面板の構成を概略
的に示す図である。図１２におい
て，（ａ）は液中平行平面板Ｌｐ
の底面図であり，（ｂ）および
（ｃ）は液中平行平面板Ｌｐの側
面図である。図１２を参照すると，
第３変形例にかかる液中平行平面
板Ｌｐの入射面Ｌｐａは，光軸Ａ
Ｘ（ＡＸ３）を中心とした円７０
に対応する外周を有する。言い換えると，液中平行平面板Ｌｐの入射面Ｌｐａは，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）に関してほぼ同じ長さを持つように形成されている。液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂにおける有効射出領域７１は，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称で且つ長方形の隅角部が丸まったような形状を有し，有効射出領域７１の中心７１ａは光軸ＡＸからＹ方向に偏心している。
【００７９】
液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，有効射出領域７１の周囲に僅かなマージン領域を確保して有効射出領域７１を内包するようなＸ方向およびＹ方向に関してほぼ対称な形状を有し，射出面Ｌｐｂの中心Ｌｐｂａは有効射出領域７１の中心７１ａと一致している。図１２（ａ）において射出面Ｌｐｂを包囲する領域であってハッチングの施された部分Ｌｐｃは，射出面Ｌｐｂの外周から光入射側に延びる傾斜面である。
【００８０】
すなわち，第３変形例にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，Ｘ方向およびＹ方向に関してほぼ対称な形状を有する。また，射出面Ｌｐｂは，一方の軸線方向（Ｙ方向）についての長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なるような形状を有する。また，入射面Ｌｐａの外周に対応する円７０の中心軸線７０ａ（図１２では不図示）と光軸ＡＸとは一致し，射出面Ｌｐｂの中心軸線ＬｐｂａはＹ方向に沿って光軸ＡＸから偏心している。そして，ウェハＷ上の実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａとほぼ一致している。別の観点でみると，第３変形例にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して１回回転対称な形状を有する。
【００８１】
図１２の第３変形例においても図９の実施形態と同様に，液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂが，ウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない実効露光領域ＥＲ（すなわち投影光学系ＰＬの有効投影領域）の形状に応じて，光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）ので，投影光学系ＰＬの像空間において液体（浸液）Ｌｍ１が介在する範囲を小さく抑えることができる。なお，第１変形例～第３変形例に示す構成は一例であって，液中平行平面板Ｌｐの入射面および射出面の構成については本発明の範囲内において様々な変形例が可能である。」
「【００８３】
また，液中平行平面板Ｌｐの作用により，境界レンズＬｂに接する液体Ｌｍ２のスキャン露光時の圧力変動やステップ移動時の圧力変動が小さく抑えられるので，比較的小さなスペースで液体を保持することが可能になる。しかしながら，上述の実施形態の構成に限定されることなく，平行平面板Ｌｐの設置を省略した構成も可能である。この場合，最も像側（ウェハＷ側）に配置される屈折光学素子としての境界レンズＬｂに対して本発明を適用することができる。具体的には，境界レンズＬｂの入射面および射出面に対して，たとえば図１０の第１変形例，図１１の第２変形例，図１２の第３変形例などの構成を適用することにより，本発明の効果を得ることができる。ただし，図９の実施形態では入射面の外周に対応する円の中心が光軸ＡＸから偏心しているので，この構成を境界レンズＬｂの入射面に適用することはできない。」
３ 発明の詳細な説明に記載された事項について
本願に係る発明の課題及びその解決手段
前記２によれば，本願に係る発明は，反射屈折型で軸外視野型の液浸投影光学系を採用した局所液浸システムにおいて，従来の屈折型の投影光学系よりも最大像高が大きくなる結果，投影光学系中の最も像側に配置される屈折光学素子の射出面を従来技術にしたがって光軸に関して回転対称な形状に形成すると，投影光学系の像空間において液体が介在する範囲が大きくなるという課題を解決し，液体が介在する範囲を小さく抑えることのできる液浸型の投影光学系を提供することを目的とするものである（【０００６】ないし【０００８】）。
そして，本願明細書の【発明の効果】の項には，本願に係る発明における投影光学系では，当該射出面が有効投影領域の形状に応じて光軸に関して回転非対称な形状を有すること，「具体的には，当該屈折光学素子の射出面は，たとえば像面上において直交する２つの軸線方向に関してほぼ対称な形状を有し，射出面の中心軸線と屈折光学素子の入射面の外周に対応する円の中心軸線とはほぼ一致し，射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心している。」との形状を採用した結果，像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑えることができるという効果を奏することが記載されている（【００２２】，【００２３】）。ここに，「回転非対称な形状」とは，「無限回回転対称な形状以外の形状」とされている（【０００９】）ところ，一般に，「幾何学的図形または物体がある軸のまわりの角２π／ｎ（ｎ＝２，３，…）の回転に関して不変であればｎ回回転対称性をもつという。」（岩波理化学辞典第５版７８４頁）ことからすると，光軸に関して無限回回転対称な形状とは，光軸のまわりの任意の角の回転に関して不変な形状，すなわち，光軸を中心とする円を指すこととなる。したがって，光軸に関して「無限回回転対称な形状以外の形状」とは，光軸を中心とする円を除く任意の形状を指すこととなる。そして，光軸を中心とする円とは，「光軸を中心とする」という条件（以下「条件１」という。）と，「円である」という条件（以下「条件２」という。）を同時に満たす形状であるから，これらの２つの条件の少なくとも一方を満たさない形状が，光軸を中心とする円を除く任意の形状に当たることとなるところ，上記【発明の効果】の記載においては，条件１に関して，「射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心している」との形状が，また，条件２に関して，「たとえば像面上において直交する２つの軸線方向に関してほぼ対称な形状」が，それぞれ示されているということができる。
発明の実施形態
ア 従来技術
前記２のとおり，本願明細書の【発明を実施するための形態】の項には，従来技術に関して，「有効射出領域３１は，ウェハＷ上において光軸ＡＸを含まない矩形状の実効露光領域（静止露光領域）ＥＲに対応するように，光軸ＡＸから一方向（Ｙ方向）に偏心」しているのに対し，「液中平行平面板Ｌｐの射出面が有効射出領域３１の回転非対称性とは無関係に光軸ＡＸに関して回転対称な形状（無限回回転対称な形状），言い換えると互いに直交する２つの軸線方向に関してほぼ同じ長さを有する形状に形成されるので，液中平行平面板Ｌｐの射出面は光軸ＡＸを中心として有効射出領域３１を内包するような大きな円３２に対応する外周を有することになる。」（【００６５】）と記載され，これを図示した【図８】には，有効射出領域３１を内包する円３２の中心軸線が，光軸ＡＸと一致していることが示されている。
これらに照らせば，従来技術については，射出面が「光軸を中心とする」「円である」との２つの条件を具備した回転対称な形状に形成されたものとして把握されていることが認められる。
イ 実施形態
前記２のとおり，本願明細書の【発明を実施するための形態】には，【図９】によって図示された本願に係る発明の実施形態について，「液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して１回回転対称な形状を有する。」（【００６７】），「すなわち，…射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａと入射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心軸線４０ａとは一致し，射出面Ｌｐｂの中心軸線ＬｐｂａはＹ方向に沿って光軸ＡＸから偏心している。そして，…実効露光領域ＥＲ（すなわち…有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａとほぼ一致している。言い換えると，射出面Ｌｐｂの一方の軸線方向（Ｙ方向）についての長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なっている。」（【００６８】），「本実施形態では，…液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂが…実効露光領域ＥＲ（すなわち…有効投影領域）の形状に応じて光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）」（【００６９】）と記載され，【図９】には，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが光軸から有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸから離れていること，射出面ＬｐｂのＸ方向の長さとＹ方向の長さが異なっていることが示されている。また，【図１１】によって図示された本願に係る発明の実施形態の第２変形例及び【図１２】によって図示された第３変形例については，いずれも，「射出面Ｌｐｂの中心軸線（重心軸線）ＬｐｂａはＹ方向に沿って光軸ＡＸから偏心している。そして，…実効露光領域ＥＲ（すなわち…有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線（重心軸線）Ｌｐｂａとほぼ一致している。別の観点でみると，第２変形例（第３変形例）にかかる液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して１回回転対称な形状を有する。」（【００７６】，【００８０】），「射出面Ｌｐｂが，…実効露光領域ＥＲ（すなわち…有効投影領域）の形状に応じて，光軸ＡＸに関して回転非対称な形状に形成されている（互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面Ｌｐｂの長さが異なるように形成されている）」（【００７７】，【００８１】）と記載され，【図１１】及び【図１２】には，いずれも，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが光軸から有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸから離れていること（なお，【図１１】にはＬｐｂａそのものは図示されていないものの，同図からかかる趣旨を読み取ることができる。），射出面ＬｐｂのＸ方向の長さとＹ方向の長さが異なっていることが示されている。
以上によれば，これらの実施形態においては，いずれも，条件１に関して，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが光軸から有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸから離れている形状が，条件２に関して，射出面ＬｐｂのＸ方向の長さとＹ方向の長さが異なっている形状が，回転非対称な形状の実施形態として示されていると認められる。
一方，【図１０】によって図示された本願に係る発明の実施形態の第１変形例については，「液中平行平面板Ｌｐの射出面Ｌｐｂは，光軸ＡＸに関して２回回転対称な形状を有する。また，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａ…と入射面Ｌｐａの外周に対応する円５０の中心軸線５０ａ…と光軸ＡＸとは一致している。そして，…実効露光領域ＥＲ（すなわち…有効投影領域）の中心軸線（重心軸線）は，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａ（すなわち光軸ＡＸ）からＹ方向に偏心している。言い換えると，射出面Ｌｐｂの一方の軸線方向（Ｙ方向）についての長さと，他方の軸線方向（Ｘ方向）についての長さとが互いに異なっている。」（【００７２】）と記載され，【図１０】には，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａと光軸ＡＸとが一致していること（同図にはＬｐｂａそのものは図示されていないものの，同図からかかる趣旨を読み取ることができる。），射出面ＬｐｂのＸ方向の長さとＹ方向の長さが異なっていることが示されている。
そうすると，この第１変形例においては，条件２に関して，射出面ＬｐｂのＸ方向の長さとＹ方向の長さが異なっている形状が，回転非対称な形状の実施形態として示されていると認められる。
ウ 補正発明に係る最終レンズへの前記イの射出面の形状の適用
実施形態として示された前記イのとおりの射出面の形状は，境界レンズＬｂとウェハの間に介在させた液中平行平面板Ｌｐの射出面についてのものであるところ（【００３７】），発明の詳細な説明には，液中平行平面板Ｌｐを省略した構成も可能であること，その場合には，最も像側（ウェハ側）に配置される屈折光学素子としての境界レンズＬｂ（補正発明における最終レンズに対応する。）の入射面及び射出面に対して，例えば実施形態の第１変形例，第２変形例及び第３変形例などの構成を適用することにより，発明の効果を得ることができることが示されている（【００８３】）。ただし，入射面の外周に対応する円の中心が光軸ＡＸから偏心している【図９】の実施形態については，これを境界レンズＬｂの入射面に適用することはできないとされる（同上）。
４ 補正発明が発明の詳細な説明に記載されているか否かについて特許請求の範囲の記載が，特許法３６条６項１号の規定に適合するか否かは，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し，特許請求の範囲に記載された発明が，発明の詳細な説明に記載された発明で，発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か，また，その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。
補正発明においては，突出部（射出面）が「光軸を中心とする」という条件を満たさない形状であることが特定されていることとなる。さらに，補正発明においては，突出部（射出面）の中心が光軸から投影領域の中心に向かって離れていることが特定されていることとなる。
したがって，補正発明が発明の詳細な説明に記載された発明であるというためには，突出部（射出面）が「光軸を中心とする」という条件１を満たさない形状であること，及び，突出部（射出面）の中心が光軸から投影領域の中心に向かって離れていることが，発明の詳細な説明に記載されている必要がある。
前記３によれば，本願明細書の発明の詳細な説明に開示された，本願に係る発明における射出面の形状は，条件１に関しては，「射出面の中心軸線は上記２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向に沿って光軸から偏心している」（【発明の効果】），あるいは，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが光軸から有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸから離れている（【図９】の実施形態並びにその第２及び第３変形例），というものであり，条件２に関しては，「たとえば像面上において直交する２つの軸線方向に関してほぼ対称な形状を有」する（【発明の効果】），あるいは，射出面ＬｐｂのＸ方向の長さとＹ方向の長さが異なっている（【図９】の実施形態並びにその第１ないし第３変形例），というものである。
そして，【発明の効果】には，条件１及び２の双方を満たさない形状が開示され，【発明を実施するための形態】には，境界レンズＬｂに適用可能なものとして，これと同様の形状が，第２及び第３変形例として開示されている一方，第１変形例として，条件２のみを満たさない形状が開示されている。ところで，本願に係る発明は，射出面を光軸に関して回転対称な形状（すなわち，光軸を中心とする円）にすると，投影光学系の像空間において液体が介在する範囲が大きくなるという課題を解決するために，射出面を光軸に関して回転非対称な形状にしたというものである。このような本願に係る発明の課題及びその解決手段の内容と，従来技術の問題点についての【００６４】や【００６５】の説明内容や【図８】の内容を踏まえて，【発明の効果】や【発明を実施するための形態】において上記のとおり開示された射出面の形状を見ると，当業者において，射出面の中心軸線を有効投影領域の中心に向かって光軸から離すとの形状のみを採用した場合であっても，それに伴い，射出面を光軸に関して回転対称とした場合に比べて射出面の大きさを小さくすることができ，上記の課題を解決することができることを当然に認識できるというべきである。
以上によれば，発明の詳細な説明には，発明の課題を解決するための手段としての射出面（すなわち，最終レンズの突出部）の形状として，条件２を満たさない形状並びに条件１及び２の双方を満たさない形状が開示されているだけでなく，条件１のみを満たさない形状，すなわち，射出面が「光軸を中心とする」ものではなく，射出面の中心が光軸から投影領域の中心に向かって離れているとの形状も，同様に開示されているということができる。そうすると，発明の詳細な説明には，補正発明の突出部の構成要件に示された形状が開示されており，補正発明は，発明の詳細な説明に記載された発明であるということができる。したがって，これとは異なり，補正発明が発明の詳細な説明に記載された事項を超えた事項を含むとした審決の判断には誤りがある。かかる誤りは，審決の結論に影響するものであるから，審決は取消しを免れないといわざるを得ない。
５ 被告の主張について
被告は，発明の詳細な説明に記載された本願に係る発明の課題を解決するための手段は，射出面が，実効露光領域の形状に応じて，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面の長さが異なるように形成されている構成であり，補正発明の「突出部」に係る記載には，このような発明の課題を解決するための手段が反映されていないと主張する及び
）。
この点，実施形態の第３変形例においては，射出面ＬｐｂがＸ方向及びＹ方向に関してほぼ対称な形状であるにもかかわらず，射出面Ｌｐｂが光軸ＡＸに関して１回回転対称であるとされている。仮に，射出面ＬｐｂがＸ方向及びＹ方向に関して対称であるとともに，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸから偏心していないとすると，射出面Ｌｐｂは光軸ＡＸに関して１回回転対称ではなく２回回転対称となるはずであること，他方，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが光軸ＡＸから偏心している限り，射出面Ｌｐｂの形状如何にかかわらず，射出面Ｌｐｂは光軸ＡＸに関して１回回転対称となることは，幾何学的な考察から明らかである。このことからすると，第３変形例において，射出面Ｌｐｂが光軸ＡＸに関して１回回転対称な形状であるのは，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸからＹ方向に偏心しているからであり，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面の長さが異なるからではない（なお，境界レンズＬｂへの適用は否定されているものの，【図９】の実施形態についても，同様である。）。
また，第２変形例においては，射出面ＬｐｂはＹ方向に関してほぼ対称でＸ方向に関して非対称な形状であるため，第３変形例とは異なり，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが光軸ＡＸから偏心しているか否かを問わず，射出面Ｌｐｂは光軸ＡＸに関して１回回転対称となるということができるものの，【図１１】から，射出面Ｌｐｂの中心軸線Ｌｐｂａが有効投影領域の中心に向かって光軸ＡＸから離れていることを読み取ることができるのは，前記３。
以上の考察によれば，第２及び第３変形例における射出面（すなわち突出部）の形状については，互いに直交する２つの軸線方向（ＸＹ方向）での射出面の長さが異なるように形成されていることだけではなく，射出面の中心軸線が有効投影領域の中心に向かって光軸からＹ方向に偏心していることも開示されているというべきであり，審決の判断はこの点を看過しているといわざるを得ない。そして，当業者において，発明の詳細な説明の内容から，射出面の中心軸線を有効投影領域の中心に向かって光軸から離すとの形状のみを採用した場合であっても，発明の課題を解決することができることを理被告は，補正発明における突出部の構成は，射出面（突出部）が大きさを変えない構成も含み得るから，射出面の中心を偏心させるだけで射出面が小しかしながら，本願に係る発明の効果は，射出面を光軸に関して回転非対称な形状にすることにより，射出面を光軸に関して回転対称な形状とした場合に比べて射出面の大きさを小さくすることができるという点にとどまり，射出面が必然的にある特定の大きさや形状に縮小されることを発明の効果に含むものではなく，突出部の構成要件も，突出部の大きさや形状そのものを構成に含むものではない（突出部の具体的な大きさや形状の決定は，本願に係る発明の実施者に委ねられているというべきである。）。そうである以上，射出面の大きさや形状に変化がないものが補正発明に含まれるかどうかは，本願に係る発明の上記効果を否定する根拠となるものではない。
被告は，発明の詳細な説明には，突出部を投影領域の中心と同じ側に偏心させることのみにより，発明の課題を解決することができ，射出面の大きさを従来技術と比べて小さくできるという効果が得られるという技術事項は記載されていない
しかるに，本願に係る発明の課題の解決のための手段の記載内容に照らせば，射出面（突出部）の中心軸線を投影領域の中心と同じ側に偏心させた場合，射出面の大きさは，それに応じて小さくすることができると認識するこまた，被告は，第１変形例においては突出部の中心と投影光学系の光軸とが一致しているから，突出部の中心と投影光学系の光軸とが離れていることは任意の事項であると主張する（同上）。
しかしながら，第１変形例が射出面の中心軸線と投影光学系の光軸とが一致した形状を開示しているとしても，これとは並列的に挙げられた他の実施形態において，射出面の中心軸線が有効投影領域の中心に向かって光軸からＹ方向に偏心した形状が上記のとおり開示されている以上，発明の詳細な説明における記載としては十分というべきである。
なお，審決が発明の詳細な説明の記載から特定した射出面の構成のうち，「実効露光領域の形状に応じて」との部分は，実質的には射出面（突出部）の中心軸線の光軸からの偏心の点を含む趣旨と解する余地もある。しかしながら，仮にそうであるとしても，発明の詳細な説明にはかかる構成のみを採用した形状についても開示されているということができるのは前記に説示したとおりであり，これに照らすと，審決の判断には少なくともその結論において誤りがあるといわざるを得ない。
以上によれば，被告の前記主張は，いずれも採用することができない。
６ 結論
以上のとおりであり，原告の請求は理由があるからこれを認容することとし，主文のとおり判決する。
知的財産高等裁判所第３部
裁判長裁判官 石井忠雄
裁判官 田中正哉
裁判官 神谷厚毅
出典：裁判所ウェブサイト「裁判例検索」（https://www.courts.go.jp/hanrei/84821/detail7/index.html）。本文は同サイト掲載の判決書PDFからTaiLexi AIがテキスト化・整形したもの（正確な文言は原本PDFを参照）。判示事項・裁判要旨・参照法条は裁判所の公表どおり。