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知財高裁判決原判決取消

知財高判 平成27年11月5日

平成26年(ネ)第10082号 特許権侵害差止請求控訴事件

AI 要約AI

特許請求の範囲の「種結晶」は、本件明細書の記載と技術常識を参酌し、6H型単結晶炭化珪素のC面及び4H型単結晶炭化珪素のC面を意味すると解釈した事例

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この判例について AI に質問

裁判所
知的財産高等裁判所
裁判年月日
平成27年11月5日 (2015-11-05)
事件番号
平成26年(ネ)第10082号
事件名
特許権侵害差止請求控訴事件
裁判の種類・結果
判決 原判決取消
判例集等
—
分野
民事・知的財産・特許権・民事訴訟
この事件の審級
  1. 第一審東京地判平成26・7・17(請求棄却)
  2. 控訴審知財高判平成27・11・5(原判決取消)

AI 要約AI

要旨

  • 特許請求の範囲の「種結晶」は、本件明細書の記載と技術常識を参酌し、6H型単結晶炭化珪素のC面及び4H型単結晶炭化珪素のC面を意味すると解釈した事例
  • 「昇華再結晶法」には、出発原料として炭化珪素固体(粉末)を用いる態様のみならず、珪素と炭素を用い、両者を反応させて結晶状態の炭化珪素を形成し、これを昇華させる態様も含まれると判断した事例
  • 窒素導入の目的は構成要件ではなく、導入された窒素が炭素原子位置に導入されていれば構成要件Cを充足すると判断した事例
事案の概要・争点・判断などを表示

事案の概要

  • 控訴人は、本件特許(発明の名称「4H型単結晶炭化珪素の製造方法」)に係る特許権を有し、被控訴人が被控訴人製品(ウエハ)を輸入・販売等する行為は本件特許を侵害すると主張し、特許法100条1項に基づき、特許権の存続期間満了日(平成27年12月8日)までの差止めを求めた。
  • 原判決は、被控訴人製品の製造方法(被控訴人方法)は本件発明の構成要件Aを充足せず技術的範囲に属しないとして控訴人の請求を棄却したため、控訴人が控訴した。
  • 本件発明は、種結晶を用いた昇華再結晶法により単結晶炭化珪素を成長させる際に、炭素原子位置に窒素を5×1018cm-3以上5×1019cm-3以下導入することを特徴とする4H型単結晶炭化珪素インゴットの製造方法である。
  • 被控訴人方法は、構成要件B及びDを充足することは当事者間に争いがない。

争点

  • 被控訴人方法は本件発明の技術的範囲に属するか(構成要件Aの「種結晶」及び「昇華再結晶法」、構成要件Cの「炭素原子位置」及び窒素導入量の充足性)
  • 本件発明は特許無効審判により無効にされるべきものか(記載要件違反、新規性欠如、進歩性欠如)

判断

  • 構成要件A「種結晶」について:規範:特許請求の範囲の記載からは一義的に明らかでないため、本件明細書の記載と技術常識を参酌して解釈する。考慮した事情:本件特許出願当時、4H型単結晶の成長には6H型C面及び4H型C面が好ましく、Si面では4H型が得難いことが技術常識であり、本件明細書も六方晶系の種結晶を前提としていた。当てはめと結論:「種結晶」は6H型C面及び4H型C面を意味し、被控訴人方法はこれを充足する。退けた主張:被控訴人の「種結晶は6H型C面のみ」との主張は、4H型C面を用いれば確実に4H型が得られたとは認められず、本件発明の対象から除外されないとして退けた。
  • 構成要件A「昇華再結晶法」について:規範:特許請求の範囲は出発原料を限定しておらず、実施例の態様に限定して解釈すべきではない。考慮した事情:本件特許出願当時、出発原料として珪素と炭素を用い、反応させて結晶状態の炭化珪素を形成し、これを昇華させる態様が公知文献(甲14、甲40の5)に記載されていた。当てはめと結論:被控訴人方法は、昇温過程で珪素と炭素が反応して結晶状態の炭化珪素が形成され、これが昇華して種結晶上に再結晶するから、「昇華再結晶法」を充足する。退けた主張:被控訴人の「出発原料は炭化珪素結晶に限られる」との主張は、甲40の5の【0022】の記載は反応段階の条件に関するものであり、本件明細書に成長条件の記載がなくても当業者が適宜なし得ることとして退けた。
  • 構成要件C「炭素原子位置」について:規範:特許請求の範囲は窒素導入の目的を構成要件とするものではない。考慮した事情:本件特許出願当時、単結晶炭化珪素に導入された窒素が炭素原子位置と置換することは技術常識であり、4H型にも妥当する。当てはめと結論:被控訴人方法は窒素を4H型単結晶炭化珪素の炭素原子位置に導入するものであり、構成要件Cを充足する。退けた主張:被控訴人の「窒素導入の目的が電気的特性の制御であり本件発明と異なる」との主張は、導入目的は構成要件ではないとして退けた。
  • 構成要件Cの窒素導入量について:規範:抵抗率と窒素含有量には相関関係があり、抵抗率から窒素濃度を換算できる。考慮した事情:被控訴人方法の抵抗率(3インチウエハ0.010~0.028Ω-cm、4インチウエハ0.015~0.025Ω-cm)を甲6、甲7に基づき換算すると、窒素濃度は3インチで約6.17×1018~3.0×1019cm-3、4インチで約7.0×1018~1.2×1019cm-3となり、本件発明の範囲内である。当てはめと結論:被控訴人方法は構成要件Cを充足する。退けた主張:被控訴人の「全ての窒素が炭素原子位置に導入されるわけではない」との主張は、炭素原子位置以外に導入される窒素はごくわずかであり、判断を左右しないとして退けた。
  • 無効理由1(実施可能要件・明確性要件違反)について:規範:SIMSにより全窒素導入量を測定でき、窒素が炭素原子位置と置換することは技術常識であるから、SIMSの測定値をもって炭素原子位置の窒素濃度とできる。当てはめと結論:本件明細書の記載は実施可能要件(特許法36条4項1号)及び明確性要件(同条6項2号)を満たす。退けた主張:被控訴人の「直接測定方法がない」との主張は、炭素原子位置以外の窒素はごくわずかであり、SIMSで測定可能として退けた。
  • 無効理由2(実施可能要件・サポート要件・明確性要件違反)について:規範:本件明細書の記載から、当業者は5×1018cm-3以上の窒素導入で4H型単結晶が得られること、5×1019cm-3が達成可能であることを理解できる。当てはめと結論:実施可能要件、サポート要件(同条6項1号)、明確性要件を満たす。退けた主張:被控訴人の「一実施例のみからは再現性を伺い知れない」との主張は、本件明細書の作用機序の記載等から理解できるとして退けた。
  • 無効理由3(実施可能要件・サポート要件・明確性要件違反)について:規範:「種結晶」の意義は一義的に明らかでなく、本件明細書の記載及び技術常識を参酌して解釈することが許される。当てはめと結論:「種結晶」は6H型C面及び4H型C面を意味し、実施可能要件、サポート要件、明確性要件を満たす。退けた主張:被控訴人の「限定解釈は許されない」との主張は、特段の事情があるとして退けた。
  • 無効理由4(引用例1に基づく新規性欠如)について:規範:学会の論文集は講演をそのまま記録したものではなく、講演時に内容が提示されたとは認められない。考慮した事情:講演時に配布された甲24には図4が含まれず、陳述書(乙29)は作成から約17年経過し、被控訴人と利害関係のある者の記憶に基づくもので信用できない。当てはめと結論:引用例1は公然知られた発明とはいえず、無効理由4は理由がない。
  • 無効理由5(引用例2に基づく新規性欠如)について:規範:特許法29条1項3号に該当するには、刊行物が不特定又は多数の者において閲覧可能な状態になることを要する。考慮した事情:DTIC段階では国防省及び連邦職員、その契約者に限られ、NTISを通じた公衆への頒布は本件特許出願日後の平成8年3月15日である。当てはめと結論:引用例2は頒布された刊行物とはいえず、無効理由5は理由がない。
  • 無効理由6(引用例3に基づく進歩性欠如)について:規範:引用発明3はパワーデバイス用基板を意図し、窒素濃度を高くして抵抗値を低くすることを志向するから、敢えて窒素濃度を下げる動機付けはない。当てはめと結論:相違点(窒素導入量)に係る構成は容易に想到し得ず、無効理由6は理由がない。退けた主張:被控訴人の「設計事項にすぎない」との主張は、引用例3に低濃度の開示がなく、引用例4の記載だけでは動機付けにならないとして退けた。
  • 無効理由7(引用例4に基づく進歩性欠如)について:規範:引用発明4の窒素導入量(1×1018cm-3未満)から、5×1018cm-3以上に増やすことは、実験による裏付けがなければ容易に想到し得ない。当てはめと結論:相違点に係る構成は容易に想到し得ず、無効理由7は理由がない。退けた主張:被控訴人の「窒素濃度を適宜調整することは当然の試み」との主張は、蓋然性を裏付ける記載がないとして退けた。
  • 無効理由8(引用例3又は引用例1と引用例5に基づく進歩性欠如)について:規範:引用例5の記載は不純物ドーピングが結晶多形に影響することを示すにとどまり、具体的な制御方法の指針を与えるものではない。当てはめと結論:引用例3と引用例5の組合せによっても容易に想到し得ず、引用例1は公知文献ではないから、無効理由8は理由がない。

判旨(本文から引用)

  • 特許請求の範囲の「種結晶を用いた昇華再結晶法により」との記載からは、昇華再結晶法により4H型単結晶炭化珪素インゴットを成長させるために用いられる「種結晶」が具体的にいかなるものであるか、すなわち、種結晶として用いられる結晶の材料、ポリタイプ及び面極性が一義的に明らかであるとはいえない。
  • 本件発明は、種結晶を用いて昇華再結晶を行う従来方法に対し、さらに、「炭素原子位置に窒素を所定範囲内の量導入する」という技術的事項を新たに適用するものであると理解できる。
  • 「昇華再結晶法」(構成要件A)には、出発原料(坩堝に充填する材料)として炭化珪素固体(粉末)を用いる態様のみならず、出発原料として珪素と炭素を用い、この両者を反応させて結晶状態の炭化珪素を形成し、この炭化珪素を昇華させることで種結晶上に単結晶炭化珪素を形成する態様も含まれるものと解される。

結論

  • 1 原判決を取り消す。
  • 2 被控訴人は,控訴人に対し,平成27年12月8日までの間,別紙物件目録記載のウエハの輸入,販売又は販売のための展示をしてはならない。
  • 3 訴訟費用は,第1,2審を通じて,被控訴人の負担とする。

AI が本文から作成した要約です。引用の際は本文をご確認ください。

平成27年11月5日判決言渡同日原本領収裁判所書記官

平成26年(ネ)第10082号特許権侵害差止請求控訴事件

原審・東京地方裁判所平成23年(ワ)第23651号

口頭弁論終結日平成27年9月24日

判決

控訴人新日鐵住金株式会社

同訴訟代理人弁護士増井和夫

同橋口尚幸

同齋藤誠二郎

被控訴人東レ・ダウコーニング株式会社

同訴訟代理人弁護士大野聖二

同井上義隆

同訴訟代理人弁理士片山健一

主文

1 原判決を取り消す。

2 被控訴人は,控訴人に対し,平成27年12月8日までの間,別

紙物件目録記載のウエハの輸入,販売又は販売のための展示をして

はならない。

3 訴訟費用は,第1,2審を通じて,被控訴人の負担とする。

事実及び理由

第1 控訴の趣旨

主文同旨

第2 事案の概要

1 本件は,発明の名称を「4H型単結晶炭化珪素の製造方法」とする特許(特許番号第3590464号。以下「本件特許」という。)に係る特許権(以下「本件特許権」という。)を有する控訴人が,被控訴人が別紙物件目録記載のウエハ(以下「被控訴人製品」という。)を業として輸入し,販売し,又は販売のために展示する行為は,本件特許を侵害する行為であると主張し,被控訴人に対し,特許法100条1項に基づき,特許権の存続期間満了日(平成27年12月8日)までの被控訴人製品の輸入販売等の差止めを求めた事案である。

原判決は,被控訴人製品の製造方法は,本件特許の特許請求の範囲請求項1に記載された発明(以下「本件発明」という。)の構成要件Aを充足せず,その技術的範囲に属しないとして,控訴人の請求を棄却した。

そこで,控訴人が,原判決を不服として控訴したものである。

2 前提事実(当事者間に争いがないか,弁論の全趣旨により認められる事実)

(1) 当事者等

ア 控訴人は,鉄鋼の製造,販売などを主たる目的とする会社である。

イ 被控訴人は,米国のダウコーニング社(DowCorning社)と東レ株式会社との合弁会社であり,シリコーン製品,シラン製品やこれらを用いて製造される製品の購入,製造及び販売などを主たる目的とする会社である。

(2) 本件特許権

控訴人は,以下のとおりの本件特許権を有する。

特許番号第3590464号

発明の名称4H型単結晶炭化珪素の製造方法

出願日平成7年12月8日

登録日平成16年8月27日

なお,本件特許出願には,特許法30条1項の適用申請がある(平成7年7月10日社団法人応用物理学会発行の応用物理第64巻第7号(乙7)に発表)。

(3) 特許請求の範囲の記載

控訴人は,本件特許について訂正審判を請求し,平成25年6月3日に,訂正明細書及び図面のとおり訂正することを認める旨の審決がされ(甲29の1・2,甲39,甲41の2,甲42の2。訂正2013-390032),その頃確定した(以下「本件訂正」という。)。

本件訂正後の特許請求の範囲請求項1の記載は以下のとおりである。以下,請求項1に記載された発明(本件発明)に係る明細書(甲39により訂正された甲2)を,図面を含めて「本件明細書」という。

【請求項1】種結晶を用いた昇華再結晶法により単結晶炭化珪素を成長させる際に,炭素原子位置に窒素を5×1018cm-3以上5×1019cm-3以下導入することを特徴とする4H型単結晶炭化珪素インゴットの製造方法。

(4) 本件発明の構成要件の分説

本件発明を構成要件に分説すると以下のとおりである(以下,分説した構成要件を付された符号により「構成要件A」などという。)。

A種結晶を用いた昇華再結晶法により

B単結晶炭化珪素を成長させる際に,

C炭素原子位置に窒素を5×1018cm-3以上5×1019cm

-3以下導入す

ることを特徴とする

D4H型単結晶炭化珪素インゴットの製造方法。

(5) 被控訴人の行為

ダウコーニング社は,別紙物件目録記載の製造方法(以下「被控訴人方法」という。)により製造された4H型単結晶炭化珪素インゴットから被控訴人製品を製造している。

被控訴人は,ダウコーニング社から,同社の製造した被控訴人製品を輸入し,販売し,又は販売のための展示をしている。

(6) 被控訴人方法は,本件発明の構成要件B及びDを充足する。

3 争点

(1) 被控訴人方法は,本件発明の技術的範囲に属するか

ア 構成要件Aの「種結晶」の充足性

イ 構成要件Aの「昇華再結晶法」の充足性

ウ 構成要件Cの「炭素原子位置」の充足性

エ 構成要件Cの「窒素を5×1018cm-3以上5×1019cm-3以下導入」

の充足性

(2) 本件発明は特許無効審判により無効にされるべきものか

ア 記載要件違反

(ア) 無効理由1:「炭素原子位置」に係る実施可能要件及び明確性要件違反

(イ) 無効理由2:「窒素を5×1018cm-3以上5×1019cm-3以下導入」に係る実施可能要件,サポート要件及び明確性要件違反

(ウ) 無効理由3:「種結晶」に係る実施可能要件,サポート要件及び明確性要件違反

イ 新規性の欠如

(ア) 無効理由4:引用例1(乙21)に基づく新規性欠如

(イ) 無効理由5:引用例2(乙38)に基づく新規性欠如

ウ 進歩性の欠如

(ア) 無効理由6:引用例3(乙14)に基づく進歩性欠如

(イ) 無効理由7:引用例4(甲40の5)に基づく進歩性欠如

(ウ) 無効理由8:引用例3又は引用例1と引用例5(乙6)に基づく進歩性欠如

第3 争点に対する当事者の主張

1 争点(1)(被控訴人方法は,本件発明の技術的範囲に属するか)について〔控訴人の主張〕

(1) 構成要件Aの「種結晶」の充足性

ア 「種結晶」の意義

(ア) 本件発明は,「種結晶を使用する昇華再結晶法」において,4H型単結晶が得られることは公知であったが,良質な単結晶を再現性良く製造する方法が存在しなかったという状況の下で,4H型単結晶の炭素位置に窒素を所定量導入することにより,成長する単結晶の品質の改良をした点にその特徴を有する。種結晶を使用することやどのような種結晶を使用するかということ自体は,本件発明の特徴ではなく,技術常識として選択される種結晶を使用することが本件発明の前提となっている。

そして,4H型単結晶炭化珪素の成長に使用する種結晶として,4H型又は6H型のC面を用いるのが好適であることは,本件特許の出願当時の技術常識であった。

(イ) 本件明細書には,実施例に関し,「種結晶として,成長面方位が<0001>方向である六方晶系の炭化珪素からなる基板1を用意した。」と記載されている(【0019】)。発明者が実際に行った実験は,比較的容易に得られる6H型C面であったが(乙7),「六方晶系の炭化珪素」とは,6H型と4H型を意味し,また,4H型の成長のためにはC面を使用する必要があることは技術常識であったから,上記記載は,6H型及び4H型のいずれの種結晶の使用例とも見ることができるものであり,その記載上,6H型及び4H型のどちらの結晶形も種結晶となる。また,実施例では,使用する面がC面かSi面かの特定はされていないが,4H型の成長のためにはC面を使用する必要があることは,前記のとおり,技術常識であった。

(ウ) 以上によれば,構成要件Aの「種結晶」は,4H型単結晶の製造に適することが公知であったものであればよく,より具体的には,4H型C面又は6H型C面を意味し,6H型単結晶に限られない。

イ 被控訴人の主張について

4H型又は6H型のC面を種結晶として用いさえすれば,4H型単結晶炭化珪素が安定的成長をするというわけではない。成長途中における種結晶の結晶多形(ポリタイプ),すなわち,別の結晶多形(ポリタイプ)が混じる現象を防止し,制御することは困難である。

そして,本件発明の課題は,4H型C面を種結晶として使用しても成長中に6H型などへの転移を生じ得るという問題を解決することにあるから,4H型単結晶を種結晶として使用する場合には,本件発明の課題が存在しないとの被控訴人の主張は失当である。

ウ 被控訴人方法の充足性

被控訴人方法は,●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●構成要件Aの「種結晶」を充足する。

(2) 構成要件Aの「昇華再結晶法」の充足性

ア 「昇華再結晶法」の意義

(ア) 構成要件Aに記載された「種結晶を用いた昇華再結晶法」は,「改良レーリー法」又は「物理的気相輸送法(physicalvaportransportmethod):PVT法」と同義であり,呼び方が異なるだけで,同じ手法を意味する(甲25,46,47,49,乙25)。

当該手法においては,原料を2000℃以上まで加熱し,昇華に際し,Siの蒸気,SiC2の蒸気,Si2Cの蒸気などが発生し,これらの蒸気が種結晶上で,SiCの単結晶に再構成される。

かかるプロセスをSiCの技術分野では「再結晶」と呼んでいるのであり,原料としてはSiの蒸気,SiC2の蒸気,Si2Cの蒸気などが発生されるものであれば足り,SiC固体原料に限られるものではない。原料として混合粉を用いることも公知である(甲14)。

炭素粉末とシリコン粉末の混合物を原材料として用いる場合も,レーリー法(甲14),昇華法(甲15),昇華再結晶法(甲40の5)と呼ばれている。

(イ) 炭素粉末とシリコン粉末の混合物を用いた場合,混合粉から焼結体SiCが生成する温度は,1360℃であるとの報告(甲15),混合粉を1850℃まで加熱して室温に戻したところ,原料の大部分がSiCに変換したとの報告(甲16)がある。

レーリー法では,原料を2000℃以上まで加熱するから(甲3では2000℃以上,甲6では2000℃~2300℃),炭素粉末とシリコン粉末の大部分がSiCに変換された後,Siの蒸気,SiC2の蒸気,Si2Cの蒸気が発生し,昇華して結晶が生成することは必然の経過である。すなわち,炭素粉末であるグラファイトの昇華温度は3370℃と非常に高く,シリコンは融点が1410℃で沸点が2360℃であり(甲50),2000℃付近でシリコンの蒸気はある程度発生するが,それだけでは,炭化珪素の単結晶を昇華法により得ることはできない。炭化珪素が成長するためには,炭素と珪素の比率が約1対1で種結晶上に供給されなければならないが,そのためには,原料が炭化珪素に変わり,炭化珪素の昇華によらなければならないのである。

高品質の単結晶炭化珪素を得るには,原料中のSiとC以外の不純物を極力少なくする必要があるが,そのためには,SiとCを個別に精製したうえでSiCとするのが好ましい方法の一つである。この場合,精製したSiとCから固体SiCを一度製造して,加熱装置から取り出し,その後に昇華再結晶を行うか,昇華再結晶用の加熱炉中でSiとCを加熱して固体SiCとし,そのまま加熱を続けて昇華再結晶まで進めるかは,昇華再結晶であることの本質に何ら影響するものではない。当業者の認識としても,SiとCの混合粉末を加熱してSiCとし,そのまま昇華再結晶をすることと,あらかじめ固体SiCとしたうえで,昇華再結晶をすることを区別する意識は特にない(甲46~48)。

(ウ) 本件発明は「原料」の状態を特に限定していない。本件明細書には,あらかじめSiC粉末を製造して原料とする例が記載されているが(【0017】),本件発明の技術的範囲は,実施例の態様に限定されるものではなく,公知技術である,炭素粉末と珪素粉末の混合物を原料とし,加熱工程中に炭化珪素を生成させた後に,昇華再結晶を行う態様を排除する理由はない。かかる態様も,本件発明の技術的範囲に含まれる。

(エ) 以上によれば,構成要件Aの「昇華再結晶法」には,あらかじめ製造されたSiC粉末を出発原料とする場合のみならず,炭素粉末と珪素粉末の混合物を出発原料とし,加熱工程中に炭化珪素を生成させる場合も含まれる。

イ 被控訴人の主張について

被控訴人は,昇温過程において必然的に炭化珪素が生成されるとしても,炭化珪素「結晶」が生成されることの主張立証にはならない旨主張する。

しかし,炭化珪素は結晶性の物質であって,炭化珪素が生成するとは炭化珪素結晶が生成することである。炭素粉末と珪素粉末の混合物を加熱する実験において炭化珪素が生成した事実は,X線回折において,原料珪素(結晶性物質)の回折線と炭化珪素結晶の回折線の強度の変化より確認される。X線回折による測定が可能であるのは,結晶が生成しているからである。

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出典:裁判所ウェブサイト「裁判例検索」(https://www.courts.go.jp/hanrei/85517/detail7/index.html)。本文は同サイト掲載の判決書PDFからTaiLexi AIがテキスト化・整形したもの(正確な文言は原本PDFを参照)。判示事項・裁判要旨・参照法条は裁判所の公表どおり。