平成３０年６月１９日判決言渡
平成２８年(行ケ)第１０２５０号審決取消請求事件
口頭弁論終結日平成３０年４月１０日
判決
原告ウシオ電機株式会社
同訴訟代理人弁護士松尾和子
相良由里子
松野仁彦
同訴訟代理人弁理士大塚文昭
谷口信行
越柴絵里
被告株式会社ブイ・テクノロジー
同訴訟代理人弁護士赤尾直人
鈴木一徳
同訴訟代理人弁理士岩﨑孝治
小橋立昌
白坂一
主文
１ 原告の請求を棄却する。
２ 訴訟費用は原告の負担とする。
事実及び理由
第１ 請求
特許庁が無効２０１５－８０００２１号事件について平成２８年１０月１７日にした審決のうち，「特許第５３４４１０５号の請求項１ないし５に係る発明についての特許を無効とする。」との部分を取り消す。
第２ 前提となる事実（証拠を掲記した以外の事実は，当事者間に争いがないか，弁論の全趣旨から認められる。）
１ 特許庁における手続の経緯等
原告は，平成２５年３月８日，発明の名称を「光配向用偏光光照射装置及び光配向用偏光光照射方法」とする特許出願（特願２０１３－４７３５０号）をし，同年８月２３日，特許権の設定の登録（特許第５３４４１０５号。請求項の数は５。）を受けた（以下，この特許を「本件特許」という。甲１２）。被告は，平成２７年２月２日，本件特許の請求項１から５に係る発明につき無効審判を請求した（無効２０１５－８０００２１号）。
原告は，平成２８年７月２８日付けで，本件特許の明細書及び特許請求の範囲について訂正請求をした（以下「本件訂正」といい，本件訂正後の明細書及び図面を併せて「本件明細書」という。甲３３）。
特許庁は，平成２８年１０月１７日，本件訂正請求を認めた上，「特許第５３４４１０５号の請求項１ないし５に係る発明についての特許を無効とする。」との審決をし，その謄本は，同月２７日，原告に送達された。
原告は，平成２８年１１月２５日，審決の取消しを求めて，本件訴訟を提起した。
２ 特許請求の範囲の記載
本件特許につき，本件訂正後の特許請求の範囲の記載は，後記(1)から(5)のとおりである（以下，本件訂正後の請求項１から５に記載された発明を，請求項の番号に従って，それぞれ「本件訂正発明１」などといい，これらを総称して「本件訂正発明」ともいう。）。
(1) 請求項１
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと，
光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと，
照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており，
ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており，
ステージ移動機構は，照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに，照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり，
ステージ移動機構は，第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに，第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり，かつ，前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ，前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり，
第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には，第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され，第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には，第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており，前記第一第二ステージの各々は，基板を吸着するための吸着孔を有する，一体的に移動可能な複数のピンを含むことを特徴と（判決注：原文のまま）光配向用偏光光照射装置。
(2) 請求項２
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと，
光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと，
照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構とを備えており，
ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており，
ステージ移動機構は，照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに，照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり，
ステージ移動機構は，第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに，第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり，かつ，前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ，前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり，
第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には，第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され，第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には，第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており，前記照射ユニットは，前記第一第二の各ステージが往路移動する際と復路移動する際の双方において各ステージ上の基板に対し，偏光子からの偏光光を直接照射して，往路における照射による露光量と復路における照射による露光量とが積算されるようにすることを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
(3) 請求項３
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと，
アライメントマークを有し，光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと，
照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と，
前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており，
ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており，前記第一第二の各ステージには，前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて，搭載された基板の向きを，照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ，
ステージ移動機構は，照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに，照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり，
ステージ移動機構は，第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに，第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり，第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には，第二のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され，第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には，第一のステージに搭載された基板の向きを前記基板アライナーにより調整した後の該第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されていることを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
(4) 請求項４
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと，
アライメントマークを有し，光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと，
照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と，
前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており，
ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており，前記第一第二の各ステージには，前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて，搭載された基板の向きを，照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ，
ステージ移動機構は，照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに，照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり，
ステージ移動機構は，第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに，第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり，かつ，前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ，前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり，
第一の基板搭載位置に位置した第一のステージと照射領域の間には，第二のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保され，第二の基板搭載位置に位置した第二のステージと照射領域の間には，第一のステージ上の基板が照射領域を通過する分以上のスペースが確保されており，前記ステージ移動機構は，前記第一第二のステージの移動方向に沿ってガイド部材を備えており，このガイド部材は，前記第一のステージの移動のガイドと前記第二のステージの移動のガイドとに兼用された，
ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
(5) 請求項５
設定された照射領域に偏光光を照射する照射ユニットと，
アライメントマークを有し，光配向用膜材付きの基板が載置されるステージと，
照射領域にステージを移動させることでステージ上の基板に偏光光が照射されるようにするステージ移動機構と，
前記ステージに載置された前記基板上の前記アライメントマークを検出するアライメントセンサとを備えており，
ステージとして第一第二の二つのステージが設けられており，前記第一第二の各ステージには，前記アライメントセンサにより検出された前記アライメントマークの位置情報に基づいて，搭載された基板の向きを，照射される偏光光の偏光軸に対して所定の向きに円周方向に調整する基板アライナーが設けられ，
ステージ移動機構は，照射領域の一方の側に設定された第一の基板搭載位置から第一のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであるとともに，照射領域の他方の側に設定された第二の基板搭載位置から第二のステージを照射領域に移動させ，前記照射ユニットにより偏光光が照射されている該照射領域を通過させるものであり，
ステージ移動機構は，第一のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第一のステージを第一の側に戻すとともに，第二のステージ上の基板が照射領域を通過した後に第二のステージを第二の側に戻すものであり，かつ，前記第一のステージの前記第一の側への復路移動に続くように前記第二のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせ，前記第二のステージの前記第二の側への復路移動に続くように前記第一のステージの前記照射ユニット方向への往路移動を行わせるものであり，
（長文のため、ここでは本文の冒頭のみを掲載しています。全文はこのページの表示後に読み込まれます。原本は原本PDFをご覧ください。）
出典：裁判所ウェブサイト「裁判例検索」（https://www.courts.go.jp/hanrei/87838/detail7/index.html）。本文は同サイト掲載の判決書PDFからTaiLexi AIがテキスト化・整形したもの（正確な文言は原本PDFを参照）。判示事項・裁判要旨・参照法条は裁判所の公表どおり。