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地裁判決一部認容

東京地判 令和4年12月15日

平成30年(ワ)第28930号 特許権侵害差止等請求事件

AI 要約AI

被告製品のレーザ加工領域は、シリコンの融点を超える温度に達し溶融・再固化が生じるから、「改質領域」(溶融処理領域)に当たるとした事例。

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裁判所
東京地方裁判所
裁判年月日
令和4年12月15日 (2022-12-15)
事件番号
平成30年(ワ)第28930号
事件名
特許権侵害差止等請求事件
裁判の種類・結果
判決 一部認容
判例集等
—
分野
民事・知的財産・特許権・民事訴訟

AI 要約AI

要旨

  • 被告製品のレーザ加工領域は、シリコンの融点を超える温度に達し溶融・再固化が生じるから、「改質領域」(溶融処理領域)に当たるとした事例。
  • 被告製品は、本件発明2-2の構成要件を充足するが、本件発明2-1の構成要件S(解除後に主面との距離を調整する制御)を充足しないとされた事例。
  • 特許法102条2項・1項は、特許権者の製品が侵害品の部品に相当し需要者を異にする場合には適用されず、102条3項に基づき実施料率30%で損害額を算定した事例。
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事案の概要

  • 原告は、レーザ加工装置に係る本件特許権1・2の特許権者であり、被告による被告製品の製造・販売等が本件各特許権の侵害を構成すると主張して、差止め、廃棄、損害賠償(特許法102条2項、1項、3項、民法709条、不当利得)を求めた。
  • 被告は、本件業務提携契約終了後、被告製のSDエンジンを搭載した被告製品を製造・販売した。被告製品は、シリコンウェハの内部にレーザ加工領域を形成する装置である。
  • 原告は、被告製品の販売台数は●台であり、損害として、特許法102条2項に基づき24億円等、同条1項に基づき18億2939万5766円等、同条3項に基づき18億6254万0800円等を請求した。
  • 被告は、本件各特許は無効である、被告製品は本件各発明の技術的範囲に属さない、本件実施許諾契約が成立しているなどと主張して、原告の請求を争った。

争点

  • 被告製品が本件発明1の構成要件A・D・Eを充足するか(争点1)。
  • 被告製品が本件発明2-1・2-2・2-3の構成要件を充足するか(争点2)。
  • 本件特許1・2が特許無効審判により無効にされるべきものと認められるか(争点3・4)。
  • 本件実施許諾契約の成否(争点5)。
  • 原告の損害額(争点6)及び不当利得の成否(争点7)。
  • 差止めの必要性(争点8)。

判断

  • 争点1-1:被告製品のレーザ加工領域は、シリコンの融点(1687K)を超える温度に達し、溶融・再固化が生じているから、「溶融処理領域」に当たり、「改質領域」を形成する。多光子吸収やボイドの有無による限定はない。
  • 争点1-2:被告製品の改質領域は、集光点を含む一定の領域に形成されるから、「集光点の位置で」形成される。
  • 争点1-3:被告製品(除去)も、改質領域を起点として生じた割れにより結果的にシリコンウェハが切断されるから、「切断の起点となる」。
  • 争点1-4~1-6:被告製品は、レーザ加工エンジンユニット全体を移動させることにより集光点を移動させる機能を有し、第2移動量の移動もレーザ光入射面を基準として決定され、制御部を備えるから、構成要件Eを充足する。
  • 争点2-1:被告製品(固定)は、走査開始待機位置からエッジ処理区間まで対物レンズが固定され、「初期位置に保持」する。被告製品(低追従)は、エッジ処理区間では低追従制御により対物レンズが進退移動するため「保持」しないが、現実のウェハエッジからウェハエッジ検出位置までの区間では「保持」する。
  • 争点2-2:構成要件Rの「照射を開始」は、レンズを測定初期位置に保持した状態までに開始されていれば足りると解され、被告製品は充足する。
  • 争点2-3:構成要件R・Sの「解除後に」は「解除後直ちに」を意味する。被告製品(固定)は、ウェハエッジ検出後も一定区間AF固定制御を継続するため、構成要件R・Sを充足しない。被告製品(低追従)は、ウェハエッジ検出時にAF固定制御を解除するが、その後低追従AF制御に移行し、主面に完全に追従するものではないため、構成要件Sを充足しない。
  • 争点2-4:被告製品(固定)は、ベベルの有無にかかわらず、エッジ処理区間でAF固定制御を維持したままレーザ加工し、その後解除するから、構成要件2R・2Sを充足する。被告製品(低追従)は、ベベルがある場合には、ベベル部分でAF固定制御により改質領域を形成し、その後低追従AF制御に移行するから、構成要件2R・2Sを充足する。
  • 争点2-5:本件発明2の「改質領域」も多光子吸収によるものに限定されず、被告製品は「改質領域」を形成する。
  • 争点2-6:被告製品は「制御手段」を備える。
  • 争点3-1~3-8:本件発明1は、乙24、乙26、乙33、乙34、乙25、乙36、乙37、乙120の各発明に基づいて容易に想到できたものではない。
  • 争点3-9~3-11、4-1~4-3:サポート要件、明確性要件、実施可能要件違反はいずれも認められない。
  • 争点5:本件実施許諾契約の成立は認められない。
  • 争点6-1-1、6-2-1:特許法102条2項・1項は、原告の製品(SDエンジン)が侵害品(SDダイサー)の部品であり需要者を異にするため適用されない。
  • 争点6-3:特許法102条3項に基づき、実施料率を30%と認め、被告製品の売上高(RMモジュール・オプション品を除く)に基づき損害額を算定した。サムスン社向けサンプル機1台はライセンスの対象であり侵害品に当たらない。
  • 争点6-4:民法709条に基づく逸失利益の損害は、被告製品の販売とディスコ社製品の販売減少との相当因果関係が認められない。
  • 争点8:被告製品の差止め及び廃棄の必要性が認められる。

判旨(本文から引用)

  • 「『改質領域』(構成要件A及びD)とは、加工対象物であるシリコンウェハの内部にレーザ光を集光することによって集光点付近に形成される『溶融処理領域』を意味するものと解するのが相当である。」

結論

  • 1 被告は、別紙被告製品目録記載の各製品を製造し、使用し、譲渡し、貸し渡し、若しくは輸出し、又は譲渡若しくは貸渡しの申出をしてはならない。
  • 2 被告は、別紙被告製品目録記載の各製品を廃棄せよ。
  • 3 被告は、原告に対し、15億0697万8762円及び別紙遅延損害金目録記載の各金員を支払え。
  • 4 原告のその余の請求をいずれも棄却する。
  • 5 訴訟費用は、これを25分し、その9を原告の負担とし、その余を被告の負担とする。
  • 6 この判決は、第1項ないし第3項に限り、原告が10億円の担保を供するときは、仮に執行することができる。

AI が本文から作成した要約です。引用の際は本文をご確認ください。

令和4年12月15日判決言渡同日原本領収裁判所書記官

平成30年(ワ)第28930号特許権侵害差止等請求事件

口頭弁論終結日令和4年8月9日

判決

原告浜松ホトニクス株式会社

同訴訟代理人弁護士設樂隆一

尾関孝彰

寺下雄介

松本直樹

大澤恒夫

深沢正志

同訴訟代理人弁理士長谷川芳樹

柴田昌聰

同訴訟復代理人弁護士河合哲志

同補佐人弁理士小曳満昭

今村玲英子

被告株式会社東京精密

同訴訟代理人弁護士半場秀

筬島裕斗志

前田直哉

三縄隆

松村啓

服部誠

中村閑

同訴訟復代理人弁護士柿本祐依

同補佐人弁理士相田義明

山下崇

主文

1 被告は、別紙被告製品目録記載の各製品を製造し、使用し、譲渡し、貸し渡し、若しくは輸出し、又は譲渡若しくは貸渡しの申出をしてはならない。

2 被告は、別紙被告製品目録記載の各製品を廃棄せよ。

3 被告は、原告に対し、15億0697万8762円及び別紙遅延損害金目録記載の各金員を支払え。

4 原告のその余の請求をいずれも棄却する。

5 訴訟費用は、これを25分し、その9を原告の負担とし、その余を被告の負担とする。

6 この判決は、第1項ないし第3項に限り、原告が10億円の担保を供するときは、仮に執行することができる。

事実及び理由

目次

第1 請求 ............................................................ 16

第2 事案の概要 ...................................................... 17

1 事案の要旨 ........................................................ 17

2 審理の経過 ........................................................ 18

3 前提事実 .......................................................... 19⑴当事者 ............................................................ 19⑵本件各特許 ........................................................ 19

ア 本件特許1 ...................................................... 19

イ 本件特許2 ......................................................⑶本件各特許に係る構成要件の分説 .................................... 20

ア 本件特許1 ......................................................

イ 本件発明2 ...................................................... 21⑷ステルスダイシング技術 ............................................ 24⑸原告と被告の業務提携 ..............................................⑹被告の行為 ........................................................ 26⑺被告製品の構造・外観等 ............................................ 26⑻被告製品の概要等 .................................................. 27

ア 被告製品1と被告製品2の異同 .................................... 27

イ 被告製品の制御方式 .............................................. 27

ウ 被告製品の具体的構成 ............................................ 29⑼先行文献等 ........................................................ 43⑽原告による訂正請求等 .............................................. 4

4 争点 .............................................................. 46⑴被告製品が本件発明1の特許請求の範囲に属するか(争点1) .......... 46

ア 被告製品は「改質領域」(構成要件A及びD)を形成するものといえるか(争点1-1) .......................................................... 46

イ 被告製品は「集光点の位置で」(構成要件D)改質領域を形成させるものといえるか(争点1-2) .............................................. 46

ウ 被告製品のレーザ加工領域は「切断の起点となる」(構成要件A)ものといえるか(争点1-3) ................................................ 46

エ 被告製品は「集光用レンズを移動させ・・る機能を有する」(構成要件E)ものといえるか(争点1-4) ........................................ 46

オ 被告製品は「前記レーザ光入射面を基準として前記加工対象物の厚さ方向に第2移動量だけ前記集光用レンズを移動させ・・る機能を有する」(構成要件E)ものといえるか(争点1-5) ........................................ 46

カ 被告製品は「制御部」(構成要件E)を備えるものといえるか(争点1-6).................................................................... 46⑵被告製品が本件発明2の特許請求の範囲に属するか(争点2) .......... 46

ア 被告製品は「測定初期位置に前記レンズを保持する」(構成要件Q)、「加工初期位置に前記レンズを保持する」(構成要件2Q)ものといえるか(本件発明2-1及び2-2に関して)(争点2-1) .......................... 46

イ 被告製品は「レンズを測定初期位置に保持した状態で第二のレーザ光の照射を開始」(構成要件R)するものといえるか(本件発明2-1に関して)(争点2-2) ............................................................ 46

ウ 被告製品は「前記第二のレーザ光の反射光に応じて、前記レンズを前記測定初期位置に保持した状態を解除」(構成要件R)し、「当該解除後に・・前記主面との距離を調整するように前記保持手段を制御」(構成要件S)するものといえるか(本件発明2-1に関して)(争点2-3) ...................... 47

エ 被告製品は「前記切断予定ラインの一端部において前記改質領域を形成し」(構成要件2R)、また、「当該一端部における改質領域の形成後に・・前記レンズを前記加工初期位置に保持した状態を解除」(構成要件2S)するものといえるか(本件発明2-2に関して)(争点2-4) ...................... 47

オ 被告製品は「改質領域」(構成要件I、P、2I、2P、2R、2S、3I)を形成するものといえるか(本件発明2全てに関して)(争点2-5) .... 47

カ 被告製品は「制御手段」(構成要件N~S、2N~2S)を有するか(本件発明2-1及び2-2に関して)(争点2-6) ........................ 47⑶本件特許1が特許無効審判により無効にされるべきものと認められるか(争点3) .................................................................. 47

ア 乙24発明に基づく進歩性の欠如(争点3-1) .................... 47

イ 乙26発明に基づく進歩性の欠如(争点3-2) .................... 47

ウ 乙33発明に基づく進歩性の欠如(争点3-3) .................... 47

エ 乙34発明に基づく進歩性の欠如(争点3-4) .................... 47

オ 乙25発明に基づく進歩性の欠如(争点3-5) .................... 47

カ 乙36発明に基づく進歩性の欠如(争点3-6) .................... 47

キ 乙37発明に基づく進歩性の欠如(争点3-7) .................... 47

ク 乙120発明に基づく進歩性の欠如(争点3-8-1) .............. 47

ケ 訂正の再抗弁の成否(争点3-8-2) ............................ 47

コ サポート要件違反(争点3-9) .................................. 47

サ 明確性要件違反(争点3-10) .................................. 48

シ 実施可能要件違反(争点3-11) ................................. 48⑷本件特許2が特許無効審判により無効にされるべきものと認められるか(争点4) .................................................................. 48

ア サポート要件違反1(本件発明2全てに関して)(争点4-1) ...... 48

イ サポート要件違反2(本件発明2全てに関して)(争点4-2) ...... 48

ウ 明確性要件違反(本件発明2全てに関して)(争点4-3) .......... 48⑸本件実施許諾契約の成否(争点5) .................................. 48⑹原告の損害額(争点6) ............................................ 48

ア 特許法102条2項に基づく損害額等(争点6-1) ................ 48

イ 特許法102条1項に基づく損害額等(争点6-2) ................ 48

ウ 特許法102条3項に基づく損害額(争点6-3) .................. 48

エ 民法709条に基づく不法行為の成否及び損害額(争点6-4) ...... 48⑺不当利得の成否及び不当利得金の額(争点7) ........................ 48⑻差止めの必要性(争点8) .......................................... 48

第3 争点に関する当事者の主張 ........................................ 48

1 争点1-1(被告製品は「改質領域」(構成要件A及びD)を形成するものといえるか) ............................................................. 48(原告の主張) ........................................................ 48⑴「改質領域」の意義 ................................................ 49

(長文のため、ここでは本文の冒頭のみを掲載しています。全文はこのページの表示後に読み込まれます。原本は原本PDFをご覧ください。)

出典:裁判所ウェブサイト「裁判例検索」(https://www.courts.go.jp/hanrei/92186/detail7/index.html)。本文は同サイト掲載の判決書PDFからTaiLexi AIがテキスト化・整形したもの(正確な文言は原本PDFを参照)。判示事項・裁判要旨・参照法条は裁判所の公表どおり。