審判番号 訂正2025-390034
請求人 東京エレクトロン株式会社（代理人 弁理士3名）
特許第７３３６６２３号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
結 論
特許第７３３６６２３号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔２９－３２〕について訂正することを認める。
理 由
第１ 手続の経緯
本件訂正審判（以下「本件審判」という。）の請求に係る特許第７３３６６２３号は、２０２１年（令和３年）４月２８日を国際出願日とする特許出願に係る特許であって、その請求項１～３４に係る発明について令和５年８月２３日に特許権の設定登録がなされ、令和７年３月２５日に本件審判の請求がなされたものである。
第２ 請求の趣旨
本件審判の請求の趣旨は、特許第７３３６６２３号の特許請求の範囲を、本件審判請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項２９～３２について訂正することを認める、との審決を求めるものである。
第３ 訂正の内容
本件審判の請求に係る訂正（以下「本件訂正」という。）の内容は、以下のとおりである。なお、下線部は訂正箇所を示す。
１ 訂正事項１
特許請求の範囲の請求項２９を削除する。
２ 訂正事項２
特許請求の範囲の請求項３０に「前記処理ガスは、Ｘｅを更に含む請求項１～２９の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記処理ガスは、Ｘｅを更に含む請求項１～２８の何れか一項に記載のエッチング方法」に訂正する。（請求項３０の記載を直接的又は間接的に引用する請求項３１及び３２も同様に訂正する。）
３ 訂正事項３
特許請求の範囲の請求項３１に「前記（ｂ）により、前記シリコン含有膜に、２０以上のアスペクト比を有する凹部が形成される、請求項１～３０の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記（ｂ）により、前記シリコン含有膜に、２０以上のアスペクト比を有する凹部が形成される、請求項１～２８及び３０の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。（請求項３１の記載を直接的又は間接的に引用する請求項３２も同様に訂正する。）
４ 訂正事項４
特許請求の範囲の請求項３２に「前記マスクは、３μｍ以上の厚みを有する、請求項１～３１の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記マスクは、３μｍ以上の厚みを有する、請求項１～２８、３０、及び３１の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。
第４ 当審の判断
１ 一群の請求項について
訂正前の請求項２９～３２について、請求項３０～３２は、請求項２９の記載を引用するものであって、本件訂正によって記載が訂正される請求項２９に連動して訂正されるものである。
したがって、訂正前の請求項２９～３２に対応する訂正後の請求項２９～３２は、特許法第１２６条第３項に規定する一群の請求項である。
２ 訂正事項１について
（１）訂正の目的について
訂正事項１は、訂正前の請求項２９を削除するものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
（２）新規事項の有無について
訂正事項１は、訂正前の請求項２９を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、「本件明細書等」という。）のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
よって、訂正事項１は、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（３）特許請求の範囲の拡張・変更の有無について
訂正事項１は、訂正前の請求項２９を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項１は、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（４）独立特許要件について
訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項２９を削除するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。
よって、訂正事項１は、特許法第１２６条第７項に規定する要件を満たすものである。
３ 訂正事項２について
（１）訂正の目的について
訂正事項２は、訂正前の請求項３０が請求項１～２９の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項１で訂正前の請求項２９が削除されて請求項２９を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第１２６条第１項ただし書第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」又は同項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項２は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
（２）新規事項の有無について
訂正事項２は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
よって、訂正事項２は、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（３）特許請求の範囲の拡張・変更の有無について
訂正事項２は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項２は、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（４）独立特許要件について
訂正事項２は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。
よって、訂正事項２は、特許法第１２６条第７項に規定する要件を満たすものである。
４ 訂正事項３について
（１）訂正の目的について
訂正事項３は、訂正前の請求項３１が請求項１～３０の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項１で訂正前の請求項２９が削除されて請求項２９を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第１２６条第１項ただし書第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」又は同項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項３は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
（２）新規事項の有無について
訂正事項３は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
よって、訂正事項３は、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（３）特許請求の範囲の拡張・変更の有無について
訂正事項３は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項３は、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（４）独立特許要件について
訂正事項３は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。
よって、訂正事項３は、特許法第１２６条第７項に規定する要件を満たすものである。
５ 訂正事項４について
（１）訂正の目的について
訂正事項４は、訂正前の請求項３２が請求項１～３１の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項１で訂正前の請求項２９が削除されて請求項２９を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第１２６条第１項ただし書第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」又は同項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項４は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
（２）新規事項の有無について
訂正事項４は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
よって、訂正事項４は、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
（３）特許請求の範囲の拡張・変更の有無について
訂正事項４は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項４は、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（４）独立特許要件について
訂正事項４は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。
よって、訂正事項４は、特許法第１２６条第７項に規定する要件を満たすものである。
第５ むすび
以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１２６条第１項ただし書第１号並びに第３号又は第４号に掲げる事項を目的とし、かつ、同条第３項、第５項～第７項の規定に適合するものである。
よって、結論のとおり審決する。
令和７年５月２３日
審判長 特許庁審判官 松永 稔
特許庁審判官 棚田 一也
特許庁審判官 中野 浩昌
出典：特許庁「審決公報」（令和7年8月29日発行・号数2025-008、公報発行サイト https://www.gazette.jpo.go.jp/scciidl010 ）を加工して作成（加工：TaiLexi AI）
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